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semih (Sayginer)
2021-02-19 10:28:58https://www.chinatimes.com/newspapers/20210219000118-260202 中时
刘德音：台积３奈米进度超前
04:10 2021/02/19 工商时报 涂志豪
晶圆代工龙头台积电报喜！董事长刘德音近日受邀于2021年国际固态电路会议（ISSCC
2021）开场线上专题演说时指出，台积电3奈米制程依计画推进，甚至比预期还超前了一
些，3奈米及未来主要制程节点将如期推出并进入生产。台积电3奈米制程预计今年下半年
试产，明年下半年进入量产。
刘德音在演说时虽未透露3奈米进度会超前多少，但此一消息仍令市场感到振奋。
刘德音董事长以“释放创新未来（Unleashing the Future of Innovation）”为演说主
题，指出半导体制程微缩脚步并未减缓，摩尔定律仍然有效，台积电3奈米比预期进度超
前，至于2奈米之后的电晶体架构将转向环绕闸极（GAA）的奈米片（nano-sheet）架构，
而极紫外光（EUV）技术可支援到1奈米。
刘德音指出，半导体整合每踏出成功的一步，都需要付出愈来愈多的努力，而半导体技术
刚推出时，虽然只有少数人采用，但是最后成果会是由大众享受，“台积电制程及制造能
力可以让世界上多数人受益”。
台积电2020年推出5奈米制程并进入量产，与7奈米相较，逻辑密度提升1.83倍，运算速度
增加13％，运算功耗下降21％。台积电预计2022年推出3奈米制程，与5奈米相较逻辑密度
提升1.7倍，运算速度提升11％且运算功耗可减少27％。
刘德音也提及EUV微影技术的重要性与日俱增，他指出，EUV虽突破芯片尺寸限制，能使用
较少层数的光罩，但产量仍是问题。相较于过去采用的浸润式微影技术，EUV的功耗明显
提高，为此台积电已在350W雷射光源技术上获得突破，可支援5奈米量产，甚至能支援到
更先进的1奈米制程节点。
台积电基于量产上的考量，5奈米及3奈米仍然采用鳍式场效电晶体（FinFET）架构，但在
材料创新上有所突破，在5奈米制程导入高迁移率通道（HMC）电晶体，将锗（Ge）整合到
电晶体的鳍片（fin）当中，导线也采用新一代的钴及钌等材料来持续挑战技术限制。至
于2奈米之后，台积电将转向采用GAA的奈米片架构，提供比FinFET架构更多的静电控制，
改善芯片整体功耗。
台积电日前宣布将在日本成立研发中心扩展3D IC材料研究，刘德音也提及台积电在新材
料上的技术创新，包括六方氮化硼（hBN）已接近实现量产，与台湾学界团队合作成功以
大面积晶圆尺寸生长单晶氮化硼等。他也指出，系统整合是半导体未来发展方向，
Chiplet（小芯片）是能让技术朝向正确方向发展的关键，而台积电的SoIC先进封装技术
可实现3D芯片堆叠。
https://i.imgur.com/i1zs3fV.jpg
作者:
ptta (ptta)
2021-02-20 00:29:00i皇：给条活路成不成
作者:
XperiaZ (XperiaZ)
2021-02-19 10:32:00十
作者: Afro5566 2021-02-19 10:34:00
万
作者:
moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)
2021-02-19 10:40:00厉害
作者:
DrFord (MIB)
2021-02-19 10:42:00十
作者: inoopp 2021-02-19 10:45:00
万
作者:
wellkom (wellkom)
2021-02-19 10:46:00青
作者:
penguinmars (麥香éšå¡”塔醬)
2021-02-19 10:49:00年
作者:
Fukker (小强)
2021-02-19 10:51:00十
作者: Yan5566 2021-02-19 10:53:00
万
作者:
acolor (boshiamy)
2021-02-19 10:56:00G
作者:
oneal0420 (oneal0420)
2021-02-19 11:00:00G
作者: ScottBrooks (Phantasia) 2021-02-19 11:07:00
轮
作者:
z1120123 (dogisgood)
2021-02-19 11:08:00班
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wind164 (æ£ç¾©å¿…å‹)
2021-02-19 11:09:00救
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GGing (小轩轩)
2021-02-19 11:14:00积
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alex01 (爱 立刻 湿)
2021-02-19 11:24:00假设做到一奈米的时候，接下来是？
作者:
as6633208 (okokokiknow)
2021-02-19 11:32:00万
作者:
jkduke (jkduke)
2021-02-19 11:40:001奈米估计还要5年以上吧..
作者:
john0302 (k k k )
2021-02-19 11:54:001奈米 只是数字
作者:
mqhung (茶味纯)
2021-02-19 12:00:000.8奈米
作者:
as6633208 (okokokiknow)
2021-02-19 12:01:001皮米、1普朗克长度
作者:
kyle0302 (35期警专毕业生)
2021-02-19 12:26:002奈米下就更难突破了吧
作者:
Ashand (不想独自快乐)
2021-02-19 12:28:00皮米啊
作者:
ijk1 (ijkl)
2021-02-19 13:01:00还在奈米喔 什么时候到埃？
作者:
beatssola (Shark5566)
2021-02-19 13:07:00十
作者:
douge (树大便是美)
2021-02-19 13:19:00文组:摩尔定律已经走到尽头 台积电:不回应文组的问题
作者: A0091127 (A009) 2021-02-19 13:39:00
万
作者:
jengmei (郑小妹)
2021-02-19 14:19:00楼下奈米屌
作者: revise (小陶) 2021-02-19 14:27:00
pm级再叫我
作者:
grateful (珍惜自己所拥有的一切)
2021-02-19 21:26:00螃蟹卤肉撑台湾
作者: nhltc1052 2021-02-21 21:51:00
Drypa out 掉怎么办
作者: intelatom 2021-02-22 18:02:00
看到这种新闻就知道股价炒不上去