补充一下几点
※ 引述《moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)》之铭言：
: IMP 分为 Wheel ChamDber与Single Camber因为Wheel Chamber 的报废批太大一
: 次13Pcs，所以GG后期皆改良为Single。
: 其中High/Medium Current如果是Indium orGermanium 那会常PM后outgassing
: 到往生，其实有解决方法，只要把粉状药剂与Source Head放在最后装上，且Source Hea
: d/ Liner需昨天就已置于烤箱中，可减少outgassing的时间，再者建置高真空时，前后多
: 做几次N2 purge，可减少异味也可快速建置真空，其实最怕做到此类型机台，有时候 Exh
: aust没做好，异味外泄有可能全场疏散。
solid source有一种更可怕的东西叫CBH的 Source Head不但跟一般的还不一样,还两天就
要换一次真的会搞死人
: 另一项最为头痛的为Source Head Filament/PFG Short，其中S/H short 有解决
: 方法，就
: 是将 Filament Cathode 与 Liner 间 改良Liner为倒梯形，一方面不会导致Plasma外逸
: ，另一方面可以增加Filament Cathode 与 Liner 间距，减少Short的机会延长PM时间。
: Source Head也常常建置真空后，S/H后端外管漏水，解决方法为建置OFF Line 测
: 漏水。
Varian较旧的机型HCS D2或是现在的Trident EPM在烂的的时候,会glitch到你怀疑人生
: S/H O-ring 对建置高中空也其为重要，最好OFF Line就检查，当建置粗真空时(
: 即Turbo
: Pump 打开) 一定要用N2测漏仪器测漏，否则建置不起来高真空，或是导致 Cryo Pump 回
: 温这可能要到隔天去了。
测漏不是N2啦 是He
S/H O-ring其实还好 我绝对不会说很多人换Source Head没在测漏的
S/H 除非大漏不然一般来说不太会影响IG2 IG3的值
真的需要测漏的是Dose Cup 有漏就真的会影响到Dose量了
: 因为IMP制程适用于半导体与Dram，但是Dram 的IMP Recipe其 Energy与Dose相
: 对单纯固定，不像半导体有几百只IMP Recipe常常需要切换，导致常常需要PM。
: 其IMP 所学范围极窄，只是用半导体业，GG 转职也只能去 Vendor作 trouble
: shooting或帮忙原厂更新零件配置的功能，离开GG，人生GG，忠言又逆耳。
: ※ 引述《yai5217 (しゅぽん)》之铭言：
: : 人在日本出差 晚上无聊来发发废文聊一下imp
: : 小弟之前在某fab内顾过几年的imp
: : 台湾的imp机台供应商大概有三家 AMAT Axcelis SHI
: : 小弟只顾过两个A社的
: : 所以聊聊这两家的机台
: : 前面有人提到说 没三年不敢说懂imp
: : 个人还蛮认同的
: : 没一定经验我看连想解读alarm message都蛮困难的
: : 不过说是真空机台内最难的我倒是不太认同
: : 毕竟imp内部没有光路 随便一台有光路的机台难度都屌打imp
: : 而且就算被PE highlight 说机台run出来的产品有问题要处理
: : 最后也就换换parts tunebeam完以后就完事了
: : 另外IMP个人认为算是蛮危险的机台
: : 不光是平常使用的是毒气之外 (B P As)
: : 还有机会会发炉 有遇过一抽真空机台就shutdown开始冒烟
: : 而且机台parts普通偏重 又需要常常拆卸
: : 危险性跟其他module比起来应该也有前三吧 (?
: : 后面聊聊机台
: : AMAT现在主力的机台是trident 900xp
: : 这两种beamline型机台 只要平常parts的品质够好
: : 顾起来都算轻松的 (反而言之parts烂的时候就知道了XD)
: : 另外还有一种叫PLAD 顾到这种机台的很屎
: : 不光是机台很屎 闻起来也很屎
: : 不过这机台就真的比较难 应该很少会给新人顾
: : 但是PM的时候就会很想死了 因为真的很臭
: : axcelis的机台就high energy类跟现在最新的purionH
: : a社的机台就很难顾
: : 因为AMAT的机台程式整合得很好 照着SOP通常都不会有什么问题
: : a社的就很多毛 传片也是特别的disk式
: : 是以前八吋的霸者 现在就被AMAT打趴
: : 至于以前上班的生活
: : 大概就是PM 顾SPC、FDC 捡螺丝 刷地板 整理环境之类的
: : 值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam还有跟OP吵架
: : tunebeam也很吃个人技术跟经验
: : 要怎么tune到小姐都觉得你超屌就是个人技术了
: : 心得大概就是这些
: : 虽然我最后还是离职了
: : 不过普遍听到的imp的离职率其实还蛮低的 (连日本的fab好像也是)
: : 或许imp真的就是这么好顾也说不定