楼主:
moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)
2019-09-22 10:10:33IMP 分为 Wheel ChamDber与Single Camber因为Wheel Chamber 的报废批太大一
次13Pcs，所以GG后期皆改良为Single。
其中High/Medium Current如果是Indium orGermanium 那会常PM后outgassing
到往生，其实有解决方法，只要把粉状药剂与Source Head放在最后装上，且Source Hea
d/ Liner需昨天就已置于烤箱中，可减少outgassing的时间，再者建置高真空时，前后多
做几次N2 purge，可减少异味也可快速建置真空，其实最怕做到此类型机台，有时候 Exh
aust没做好，异味外泄有可能全场疏散。
另一项最为头痛的为Source Head Filament/PFG Short，其中S/H short 有解决
方法，就
是将 Filament Cathode 与 Liner 间 改良Liner为倒梯形，一方面不会导致Plasma外逸
，另一方面可以增加Filament Cathode 与 Liner 间距，减少Short的机会延长PM时间。
Source Head也常常建置真空后，S/H后端外管漏水，解决方法为建置OFF Line 测
漏水。
S/H O-ring 对建置高中空也其为重要，最好OFF Line就检查，当建置粗真空时(
即Turbo
Pump 打开) 一定要用N2测漏仪器测漏，否则建置不起来高真空，或是导致 Cryo Pump 回
温这可能要到隔天去了。
因为IMP制程适用于半导体与Dram，但是Dram 的IMP Recipe其 Energy与Dose相
对单纯固定，不像半导体有几百只IMP Recipe常常需要切换，导致常常需要PM。
其IMP 所学范围极窄，只是用半导体业，GG 转职也只能去 Vendor作 trouble
shooting或帮忙原厂更新零件配置的功能，离开GG，人生GG，忠言又逆耳。
※ 引述《yai5217 (しゅぽん)》之铭言：
: 人在日本出差 晚上无聊来发发废文聊一下imp
: 小弟之前在某fab内顾过几年的imp
: 台湾的imp机台供应商大概有三家 AMAT Axcelis SHI
: 小弟只顾过两个A社的
: 所以聊聊这两家的机台
: 前面有人提到说 没三年不敢说懂imp
: 个人还蛮认同的
: 没一定经验我看连想解读alarm message都蛮困难的
: 不过说是真空机台内最难的我倒是不太认同
: 毕竟imp内部没有光路 随便一台有光路的机台难度都屌打imp
: 而且就算被PE highlight 说机台run出来的产品有问题要处理
: 最后也就换换parts tunebeam完以后就完事了
: 另外IMP个人认为算是蛮危险的机台
: 不光是平常使用的是毒气之外 (B P As)
: 还有机会会发炉 有遇过一抽真空机台就shutdown开始冒烟
: 而且机台parts普通偏重 又需要常常拆卸
: 危险性跟其他module比起来应该也有前三吧 (?
: 后面聊聊机台
: AMAT现在主力的机台是trident 900xp
: 这两种beamline型机台 只要平常parts的品质够好
: 顾起来都算轻松的 (反而言之parts烂的时候就知道了XD)
: 另外还有一种叫PLAD 顾到这种机台的很屎
: 不光是机台很屎 闻起来也很屎
: 不过这机台就真的比较难 应该很少会给新人顾
: 但是PM的时候就会很想死了 因为真的很臭
: axcelis的机台就high energy类跟现在最新的purionH
: a社的机台就很难顾
: 因为AMAT的机台程式整合得很好 照着SOP通常都不会有什么问题
: a社的就很多毛 传片也是特别的disk式
: 是以前八吋的霸者 现在就被AMAT打趴
: 至于以前上班的生活
: 大概就是PM 顾SPC、FDC 捡螺丝 刷地板 整理环境之类的
: 值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam还有跟OP吵架
: tunebeam也很吃个人技术跟经验
: 要怎么tune到小姐都觉得你超屌就是个人技术了
: 心得大概就是这些
: 虽然我最后还是离职了
: 不过普遍听到的imp的离职率其实还蛮低的 (连日本的fab好像也是)
: 或许imp真的就是这么好顾也说不定
作者: HowBa (好吧) 2019-09-22 10:20:00
这系列文真不错 不知道未来有没有黄光、蚀刻等的机台分享
作者: deltarobot (翻出来比大只小只啊) 2019-09-22 10:21:00
排版
作者: Jolube (卡路比) 2019-09-22 10:41:00
好奇有哪个顾机台所学范围不窄
作者:
loadingN (sarsaparilla)
2019-09-22 10:42:00其他产业的know how 你下班一样用不到
作者:
motsu9876 (motsu9876)
2019-09-22 11:05:00晶晶体
作者: Xintec 2019-09-22 12:01:00
推
作者: snoopy790428 (snoopy) 2019-09-22 12:42:00
前蚀刻设备表示好像懂又好像不懂
没做过IPM也看得懂啊...真空有beam的东西不都大同小异如下面那篇说的，测漏是He不是N2...以后出去可以去顾炸鸡排设备啊，油温曲线控制对各类炸物的影响，多久要PM一次滤网，换油跟filter鸡排面浆的涂布(Coating)，炸成金黄色(Development)撒胡椒粉(Pepper Implantation)目视检查(Visual inspection)，装袋封装(Packaging)
作者:
rosty (鲁蛇大叔)
2019-09-22 13:37:00推....这系列文应该要推广才是
有点想问这版的，有看过医生骨科转泌尿科，皮肤科转眼科吗？但从荣总转到长庚，高医转到地区医院很正常。 同理IMP 转ETC 或转DIF也是接近不可能，但是你高兴可以从GG转去UMC 没人会拦你但假如是小七店员，你要转百货专柜，转保全，转保险业务，转餐饮业，我相信更可以成功转职～～～
作者: Incentive 2019-09-22 14:47:00
推大大分享
作者:
benden (20%/y的蜗牛)
2019-09-22 15:24:00推
作者: MINGSING 2019-09-22 16:39:00
最后一段是重点啊....
作者:
AnXD (一笑啊哈哈哈)
2019-09-22 19:27:00加入台积，正是时机
作者:
h321123aa (the king of toolman)
2019-09-23 00:06:00嘘晶晶体的是没在fab待过是不是…
我也都看得懂 囧 当初要PM 前把要换的SH 放在烤箱真的有差，但还不像老鸟一样可以半夜短路自己PM ，要换SH拆装真的很麻烦…
作者:
Gaujing (高进)
2019-09-23 02:23:00P到最后完全靠运气 什么鸟状况都有可能Filament断掉 用久密封差抓不到漏点 还有Cathode跑掉的PFG桐柱烧掉 换parts没装好真空不足
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moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)
2019-09-23 06:40:00曾半夜自己完成quaternary PM，因为隔天刚好要P，只因为时间点尴尬，刚好凌晨1点 S/H 断掉
作者:
yikkung (暗天)
2019-09-23 09:46:00嘘晶晶体的在科技业工作吗哈哈 同事讲话都是这样的
作者:
Gaujing (高进)
2019-09-23 19:10:00一个人喔...这么硬XD
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moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)
2019-09-23 20:03:00不晓得有没有人在凄凉的寒冬晚上，外面飘着毛毛细雨，独自推著推车经过长廊去仓库领料，回到机台旁，自己P年保，慢慢度过这个孤寂的寒夜！
楼主:
moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)
2019-09-24 06:32:00慢慢换，反正有9小时，至少不用出来交接晨会被狗干！
作者:
Gaujing (高进)
2019-09-24 12:35:00都穿无尘服应该感受不到XD
作者:
sky27 2019-09-24 14:59:00专业文 没10年写不出这些心得