三星全力冲刺先进制程，紧追台积电（2330）之际，传出关键设备极紫外光（EUV）机台
独家制造商艾司摩尔（ASML）执行长Peter Wennink率领高层拜访三星，双方寻求技术与
投资合作，三星并希望能抢在台积电之前，取得艾司摩尔下一代EUV设备供应。
EUV技术与一般制程相比，除了可增加电晶体密度之外，更能节省时间，加速产品上市，
台积电从7+奈米就开始导入EUV制程，并于之后的高阶制程全数都采用EUV。由于EUV设备
由艾斯摩尔独家掌握，三星拉拢艾司摩尔，争取扩大EUV合作，也让三星和台积电之间的
先进制程大战烟硝味更浓。
台积电不畏三星进逼，昨（1）日股价大涨9.5元，收490元，周二ADR早盘强涨逾3%，重回
100美元之上，以100.37美元，再写新高价。
韩国财经媒体Business Korea报导，Wennink在内的多位艾司摩尔高层主管上周参访三星
半导体工厂，讨论EUV设备供应与发展的合作，三星由副会长金奇南等人接待。
报导指出，三星有意投资研发高数值孔径（High-NA）EUV，该设备价格估计一部要价
5,000亿韩元（约新台币130亿元），是目前主流EUV机台的两到三倍。艾司摩尔预定2023
年中引介此类设备原型机，三星希望能抢在台积电前拿到该设备，以期能在制程技术上取
得领先。
业界人士分析，三星积极追赶台积电，不过台积电在高良率与低功耗等优势下，一路领先
，从最早与三星分食苹果A系列处理器订单，到后来独拿可见一斑。
至于在7奈米制程上，台积电先推鳍式场效电晶体（FinFet）架构的7奈米技术，再推出使
用EUV的7奈米强效版（N7+）制程，三星则选择在7奈米制程直接导入EUV技术，但良率不
佳。
5奈米制程方面，三星与台积电仍有二成产能的差距，进入到下一代先进制程，三星、台
积电分别于3奈米、2奈米导入GAA技术与3D IC封装，但台积电良率与技术依旧都比三星先
进。
供应链透露，台积电目前已采购35台EUV设备，占艾司摩尔过半产量，2021年底采购总量
将超过50台。相较之下，三星EUV设备采购量目前不到20台，由于EUV机台是先进制程关键
设备，又是艾司摩尔独家生产，三星积极卡位抢EUV机台，就怕离台积电愈来愈远。
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