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2018年11月29日 17:45 旺报 李锌铜
由大陆中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备——超分辨光刻装备专案29日
在成都通过验收，大陆科学家已研制成功世界上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备，
并形成一条全新的奈米光学光刻工艺路线，具有完全自主智慧财产权。
中科院光电所所长、超分辨光刻装备专案首席科学家罗先刚研究员表示，2012年，该所承
担了超分辨光刻装备这一国家重大科研装备项目研制任务，经过近7年艰苦攻关，在无国
外成熟经验可借鉴情况下，专案组突破了高均匀性照明、超分辨光刻镜头、等关键技术，
完成国际上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备研制，采用365奈米波长光源，单次曝
光最高线宽分辨力达到22奈米。专案组还结合超分辨光刻装备专案开发的高深宽比刻蚀、
多重图形等配套工艺，实现了10奈米以下特征尺寸图形的加工。
这一世界首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备，是基于表面等离子体超衍射研制而成，
打破了传统光学光刻分辨力受限于光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局，形成了一条
全新的超衍射奈米光刻从原理、装备到工艺的技术路线，具有完全自主智慧财产权，为超
材料/超表面、第三代光学器件、广义芯片等变革性战略领域的跨越式发展提供了制造工
具。