楼主:
orz44444 (新台币没有国际信用!!!!)
2018-11-30 15:55:53https://www.chinatimes.com/realtimenews/20181129003782-260409
2018年11月29日 17:45 旺报 李锌铜
由大陆中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备——超分辨光刻装备专案29日
在成都通过验收，大陆科学家已研制成功世界上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备，
并形成一条全新的奈米光学光刻工艺路线，具有完全自主智慧财产权。
中科院光电所所长、超分辨光刻装备专案首席科学家罗先刚研究员表示，2012年，该所承
担了超分辨光刻装备这一国家重大科研装备项目研制任务，经过近7年艰苦攻关，在无国
外成熟经验可借鉴情况下，专案组突破了高均匀性照明、超分辨光刻镜头、等关键技术，
完成国际上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备研制，采用365奈米波长光源，单次曝
光最高线宽分辨力达到22奈米。专案组还结合超分辨光刻装备专案开发的高深宽比刻蚀、
多重图形等配套工艺，实现了10奈米以下特征尺寸图形的加工。
这一世界首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备，是基于表面等离子体超衍射研制而成，
打破了传统光学光刻分辨力受限于光源波长及镜头数值孔径的传统路线格局，形成了一条
全新的超衍射奈米光刻从原理、装备到工艺的技术路线，具有完全自主智慧财产权，为超
材料/超表面、第三代光学器件、广义芯片等变革性战略领域的跨越式发展提供了制造工
具。
作者: furio (void) 2018-11-30 16:01:00
365nm???
作者: winderb53 (湛蓝龙猫) 2018-11-30 16:08:00
22nm?10nm?GG果然比支那强
这次是拿哪家的来re-marking?I line做sub 10nm, 那我冲天砲都可以射上月球了真不愧是中时
作者: h7705060 (邪恶小猫) 2018-11-30 17:03:00
作者: smalljacky03 (小小迷糊虫爱捣蛋03) 2018-11-30 18:27:00
呵呵
作者:
gametv (期待着今天)
2018-11-30 19:13:00结果机器外箱是A....
作者:
wellkom (wellkom)
2018-11-30 19:17:00这次又是拿哪一家的来 Remark?
作者: ggBird (ggBird) 2018-11-30 19:18:00
习近平万岁
作者: qwe172839 (你何不食屎) 2018-11-30 21:27:00
mark抹掉 技术文件翻译一下 就是自己的ㄌ
作者: jim543000 (玄黄无极) 2018-11-30 21:28:00
double pattern是专利 是在用屁用
作者:
loadingN (sarsaparilla)
2018-11-30 21:33:00或成最大赢家
作者:
roger2 (爱情贩卖机)
2018-11-30 22:04:00I-line 可以做22nm ??
作者: Zeromatthew (ZERO) 2018-11-30 22:33:00
可以啊～公式每个人都知道，怎么做不出来… 比如搞个高NA Lens,但是机台能不能量产，符不符合经济效益…呵呵！
作者: xfile (我好穷 没钱赌WC) 2018-11-30 23:45:00
厉害了 我的国 快把歼20的芯片都换上吧 嘻嘻
作者:
kai0914 (好人)
2018-12-01 07:38:00这国家没在尊重专利的，不然怎会被美国打。
结果就是一堆垃圾撕开标签，结果是asml的mark
作者:
remax (就叫做暱称吧)
2018-12-01 08:57:00这次是买哪家的来改自家商标？
作者:
sonyvaio (Keroro)
2018-12-01 19:01:00怕又是贴牌的
作者:
stock999 (史托克柰褦錼)
2018-12-01 20:31:00厉害了你的国