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→ Homedoni: 洗净就etching的一种 可放在扩散部的炉管前洗净11/06 14:02
→ Homedoni: 乾式去光阻后也可能用硫酸再洗一次 也可以用来蚀刻图案11/06 14:03
→ Homedoni: 应用算满广的11/06 14:03
推 bbbcccddd2: 算蚀刻的，不过是湿蚀刻，基本上就以水跟IPA为主，除11/06 14:07
→ bbbcccddd2: 非想拿来洗特别的材料才需要用专用的溶剂去洗11/06 14:07
不要唬烂好吗？
基本的是双氧水、氨水+双氧水、盐酸吧？
IPA有用啦，不过不是主要用途吧？
还有怎么不提还是会用HF?
→ jengmei: 在设备里算爽缺了11/06 14:15
推 Yesw: 薄膜好太多了！洗净设备就wet设备,一有问题报废都是一拖拉库11/06 14:20
→ Yesw: .....11/06 14:20
推 L010089: wet绝对是屎缺11/06 15:09
推 kurtgod: WET CLAEN在GG也是屎缺11/06 15:11
推 Yesw: 是我不会再选wet了..目前手上又一份大量报废的报告要写囉QQ11/06 15:18
→ wzmildf: 我是不知道力晶啦，但是说wet etch只有水和ipa的...积点11/06 15:25
→ wzmildf: 阴德好吧不要这样坑人11/06 15:25
推 Yesw: 我某公司wet clean设备，用到的酸可多了～11/06 15:37
推 Yesw: 重点不在用酸，那些自己工作上本来就要小心做好防护，刺激11/06 15:39
→ Yesw: 的是报废都很大量，不管是defect还是机台传送出问题都容易11/06 15:39
→ Yesw: 导致大量产品在你面前说掰掰11/06 15:39
还好我跑了，抽气效率一差、DI角度一跑就报废