跪了！这家竟做出“0.7奈米”芯片 台积电有危险？
20:382022/10/02
中时新闻网 吴美观
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美国公司Zyvex宣布，成功挑战0.7奈米制程。（示意图/达志影像/shutterstock）
艾司摩尔（ASML）还在为制造2奈米、1奈米必用极紫外光（EUV）设备努力之际，美国企
业Zyvex在先进制程出现重大突破，宣布成功打造0.7奈米芯片的微影系统，而这种芯片主
要用于量子电脑，不过这项技术缺点是产量很低，无法满足市场对芯片的大量需求，看来
对台积电不构成威胁，EUV霸主地位也无可取代。
据美国Zyvex公司官网介绍，新推出ZyvexLitho1微影系统，基于STM扫描隧道显微镜，使
用EBL电子束微影技术，成功制造768皮米，也就是0.7奈米芯片，等同2个硅原子宽度，为
目前世上制造精密度最高的微影系统。
目前ZyvexLitho1系统制造出来的芯片，主要用于量子电脑，可打造出高度精密的固态量
子元件，以及奈米元件和材料，对量子电脑来说精密度相当重要。
Zyvex公司表示，已经可以接受其他客户订单，机器约在6个月内出货。
尽管EBL技术的精密度超越艾司摩尔EUV微影设备，但缺点是产量很低，无法满足大规模制
造芯片的需求，只适合小量生产，因此不可能取代现有EUV霸主地位。
荷商艾司摩尔独家供应打造先进制程必备的EUV微影设备，目前客户包括台积电、英特尔
和三星等半导体大厂。
日经新闻先前报导，被封为“全球半导体产业背后头脑”的比利时微电子研究中心（IMEC
）表示，摩尔定律在全新技术配合之下，先进制程推进多少世代都没有问题。
IMEC提到，1奈米制程需向前跨进4世代，目前其路线图（Roadmap）已排定，预估在2027
年就能实现，而最顶尖的0.7奈米制程可望在2029年之后量产。
https://www.chinatimes.com/realtimenews/20221002005136-260410