中芯5奈米没了？ 台积大老打脸外界预测
工商时报 数位编辑 2022.01.01
大陆晶圆代工巨头中芯遭美方打压，14奈米相关设备取得困难，目前制程似乎停留在28奈米
制程，反观台积电早已进入极紫外光（EUV）制程世代，7奈米、5奈米传捷报，但没有EUV机
台就不能做先进制程吗？台积电前研发副总、浸润式微影之父林本坚则认为，即使没有高阶
昂贵的EVU，中芯以现有设备至少做到5奈米应该没问题，打破外界只停留28奈米的刻板印象
。
外电早前引述消息来源指出，拜登政府考虑对中芯国际实施更严厉的制裁，以防大陆获得美
国关键技术。一旦禁令通过，中芯的28奈米、40奈米及更成熟制程设备都会被列入管制清单
中。但因美国商务部提出质疑，认为此举也会伤害美企利益，因此美方暂时搁置阻止向中芯
出售更多美国技术。
中芯联合首席执行长梁孟松之前曾透露，中芯28奈米、14奈米、12奈米以及N+1制程都进入
规模量产，开发中的7奈米制程也已经完成，预计2022年就可以投入风险量产，是否仍有机
会取得设备来供应芯片，将成外界关注焦点。
目前在半导体制造产业中，只有台积电、三星等导入EUV先进制程技术，并进入规模量产，
台积电在7奈米、5奈米告捷后，预计3奈米在2022年下半年量产，而受到美方制裁的中芯仍
停留在14奈米以上节点，甚至是28奈米成熟制程。
EUV设备是进入先进制程的关键，但没有EUV的话，尖端技术就无法推进吗？Digitimes科技
网报导，台积电前研发副总林本坚认为，微影技术及产能的投资成本很高，以中芯来说，不
一定要用到高阶昂贵EUV机台，以现有设备应该能做到5奈米制程，但技术研发是否到位很重
要。这番话给中芯打了一剂强心针，也打破外界认为中芯将在28奈米止步的预测。
台积电3奈米今年下半问世，2奈米也预计2025年量产，不过林本坚表示，3奈米或以下先进
制程很花钱，相当吃力不讨好，还是有很多方法可以做，先进封装技术是方法之一，虽然不
一定省钱，却能提升效能，台积电已超前部署，延聘更多研发人才，未来不一定只能朝制程
微缩之路前进。（中时新闻网 吴美观）
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