人在日本出差 晚上无聊来发发废文聊一下imp
小弟之前在某fab内顾过几年的imp
台湾的imp机台供应商大概有三家 AMAT Axcelis SHI
小弟只顾过两个A社的
所以聊聊这两家的机台
前面有人提到说 没三年不敢说懂imp
个人还蛮认同的
没一定经验我看连想解读alarm message都蛮困难的
不过说是真空机台内最难的我倒是不太认同
毕竟imp内部没有光路 随便一台有光路的机台难度都屌打imp
而且就算被PE highlight 说机台run出来的产品有问题要处理
最后也就换换parts tunebeam完以后就完事了
另外IMP个人认为算是蛮危险的机台
不光是平常使用的是毒气之外 (B P As)
还有机会会发炉 有遇过一抽真空机台就shutdown开始冒烟
而且机台parts普通偏重 又需要常常拆卸
危险性跟其他module比起来应该也有前三吧 (?
后面聊聊机台
AMAT现在主力的机台是trident 900xp
这两种beamline型机台 只要平常parts的品质够好
顾起来都算轻松的 (反而言之parts烂的时候就知道了XD)
另外还有一种叫PLAD 顾到这种机台的很屎
不光是机台很屎 闻起来也很屎
不过这机台就真的比较难 应该很少会给新人顾
但是PM的时候就会很想死了 因为真的很臭
axcelis的机台就high energy类跟现在最新的purionH
a社的机台就很难顾
因为AMAT的机台程式整合得很好 照着SOP通常都不会有什么问题
a社的就很多毛 传片也是特别的disk式
是以前八吋的霸者 现在就被AMAT打趴
至于以前上班的生活
大概就是PM 顾SPC、FDC 捡螺丝 刷地板 整理环境之类的
值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam还有跟OP吵架
tunebeam也很吃个人技术跟经验
要怎么tune到小姐都觉得你超屌就是个人技术了
心得大概就是这些
虽然我最后还是离职了
不过普遍听到的imp的离职率其实还蛮低的 (连日本的fab好像也是)
或许imp真的就是这么好顾也说不定