Re: [请益] 台积离子布植设备

楼主: yai5217 (yai)   2019-09-21 19:39:38
人在日本出差 晚上无聊来发发废文聊一下imp
小弟之前在某fab内顾过几年的imp
台湾的imp机台供应商大概有三家 AMAT Axcelis SHI
小弟只顾过两个A社的
所以聊聊这两家的机台
前面有人提到说 没三年不敢说懂imp
个人还蛮认同的
没一定经验我看连想解读alarm message都蛮困难的
不过说是真空机台内最难的我倒是不太认同
毕竟imp内部没有光路 随便一台有光路的机台难度都屌打imp
而且就算被PE highlight 说机台run出来的产品有问题要处理
最后也就换换parts tunebeam完以后就完事了
另外IMP个人认为算是蛮危险的机台
不光是平常使用的是毒气之外 (B P As)
还有机会会发炉 有遇过一抽真空机台就shutdown开始冒烟
而且机台parts普通偏重 又需要常常拆卸
危险性跟其他module比起来应该也有前三吧 (?
后面聊聊机台
AMAT现在主力的机台是trident 900xp
这两种beamline型机台 只要平常parts的品质够好
顾起来都算轻松的 (反而言之parts烂的时候就知道了XD)
另外还有一种叫PLAD 顾到这种机台的很屎
不光是机台很屎 闻起来也很屎
不过这机台就真的比较难 应该很少会给新人顾
但是PM的时候就会很想死了 因为真的很臭
axcelis的机台就high energy类跟现在最新的purionH
a社的机台就很难顾
因为AMAT的机台程式整合得很好 照着SOP通常都不会有什么问题
a社的就很多毛 传片也是特别的disk式
是以前八吋的霸者 现在就被AMAT打趴
至于以前上班的生活
大概就是PM 顾SPC、FDC 捡螺丝 刷地板 整理环境之类的
值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam还有跟OP吵架
tunebeam也很吃个人技术跟经验
要怎么tune到小姐都觉得你超屌就是个人技术了
心得大概就是这些
虽然我最后还是离职了
不过普遍听到的imp的离职率其实还蛮低的 (连日本的fab好像也是)
或许imp真的就是这么好顾也说不定
作者: qwqmmmm (qwqmmmm)   2019-09-21 19:52:00
这能推
作者: a2768387 (how che)   2019-09-21 20:09:00
专业推
作者: oliver902 (逼波逼波)   2019-09-21 20:15:00
PLAD 真的屎 当初光是particle 的问题就快爆炸,但不管是Trident 或其他机型PM 的时候真的都很臭…
作者: lumi95232321 (晃来晃去)   2019-09-21 20:21:00
专业推!
作者: moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)   2019-09-21 20:23:00
IMP 最常发生 Source head 短路,有时用塑槌敲敲又不会短路,不必再更换S/H 抽真空,因开关turbo /Cory pump会有水气,需要 Outgassing 许久时间,导致不易tune beam,也无法达到所要的 Beam current之后 Imp 机台有发展出一套 Auto tune beam(snapshot)的功能,但可能效果不佳,还是需要人为介入;以前是没有 tune beam OP,因常常好几台同时 Alarm,工程师忙于Tune beam,导致影响产能,最后每班都有 调机OP再者更换 As/BF/Ge钢品时,加装 gasket时,怕的要死,吸一口GG或全场疏散,然而低压钢瓶是安全,但是就是会有心理压力再者更换钢瓶需要通知ERC并穿戴SCBA,并通知隔离
作者: HockeyOTL (乡民大神)   2019-09-21 21:15:00
有看没有懂(误,但觉得专业给推!
作者: sendtony6 (TY)   2019-09-21 22:13:00
设备弟兄推一个
作者: KurakiMaki (Maki)   2019-09-21 22:20:00
啥是光路?
作者: moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)   2019-09-21 22:27:00
10年前High current 与 Medium Current 为 Varian 所制造开发,但是后期被Apply所并购!其中顾 High Current(High Dose)最难照顾,最可能植入过多Dose 量,无法再补,因而整个Chamber 可能一批都报废,另外HC 常开Chamber PM (因为高Dose量)因此 Particle 常Out SPC;HighEnergy 构造更为复杂,尤其Robert 传送与牛奶桶真空泄漏,可能会当机ㄧ整天
作者: qwqmmmm (qwqmmmm)   2019-09-21 22:36:00
这是 moonth66 ???
作者: moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)   2019-09-21 22:38:00
但是如果离开IMP,就几乎什么都不是,因为外界可用性太小离开GG,人生GG!
作者: lponnn (快乐的狼)   2019-09-21 22:59:00
我还以为plad比较小台应该比较好顾
作者: uranuswind (水瓶之风)   2019-09-21 23:08:00
Imp 同学会!
作者: Alderamin (Alderamin)   2019-09-21 23:33:00
Imp我不懂 怎整串推文我都看得懂!
作者: jason316 (Justin)   2019-09-22 00:03:00
还有一家imp 设备AIBT某大厂也很爱用
作者: barry610171 (小小羊)   2019-09-22 00:32:00
原po之前该不会待过北部某内存厂吧
作者: as111531 (《经济状况》债台高筑$0)   2019-09-22 00:33:00
在etch面前都是____
作者: jerome20106 (傑.糯米)   2019-09-22 01:11:00
知道 亚舍立的purionH应该待过南亚
作者: macao930605 (林北五级)   2019-09-22 08:52:00
现在还有sen ..
作者: clairephy (claire)   2019-09-22 11:11:00
axcelis purion H 是high current..他们现在一直推这机型..不用待过南亚科也知道的..
作者: TOUCHLOVER (嫩嫩)   2019-09-22 12:44:00
现在大魔王是低温机台吧,particle搞死你
作者: benden (20%/y的蜗牛)   2019-09-22 15:25:00

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