※ 引述《JQK2 (ACE)》之铭言:
: 中国实现国产DUV曝光机 可生产8奈米及以下芯片
: 2024/9/14 22:41 编辑:杨升儒
: (中央社台北14日电)中国工信部近日公布一项通知显示,中国已取得重大技术突破,研发
: 出深紫外光曝光机(DUV),可生产8奈米及以下芯片,目前正在推广应用。
: 中国工业和信息化部官网9日公布“首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版
: )”的通知,下发地方要求加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同。
: 中国工信部称,重大技术装备是国之重器,事关综合国力和国家安全。“中国首台(套)重
: 大技术装备”是指国内实现重大技术突破、拥有智慧财产权、尚未取得明显市场业绩的装备
: 产品,包括整机设备、核心系统和关键零部件等。
: 这份目录显示,在积体电路生产装备,其中一项是“氟化氩光刻机”(DUV曝光机),核心
: 技术指标是“晶圆直径300mm,照明波长248nm,分辨率≦65nm,套刻≦8nm”。这也代表,
: 这台国产DUV可生产8奈米及以下芯片。
: 中国大陆科技自媒体今天转发消息后称,中国自己的DUV曝光机终于来了,虽然与荷兰艾司
: 摩尔(ASML)曝光机存在代差,至少己填补空白,可控可用,期待之后能研发出更先进的极
: 紫外光曝光机(EUV)。
: 美国5日才宣布收紧制造先进半导体设备所需机器的出口管制,荷兰政府隔天跟进,宣布扩
: 大限制半导体制造设备出口,。
: 路透社报导,ASML的1970i和1980i深紫外光曝光机(DUV)输出中国会受到影响,两款机型
: 大约是ASML所属DUV产品线的中阶位置。
: 中国若实现国产8奈米及以下制程DUV,未来绝大多数芯片制造,将不用受制于ASML。不过,
: 截至目前,尚无中国官方与厂商宣布这项消息。(编辑:杨升儒)
: https://www.cna.com.tw/news/ait/202409140249.aspx
: 华为用ASML不计成本产出7奈米
: ASML说不维修就生出DUV曝光机
: 看来明年说研发出EUV也不意外了
看了一下这就
https://www.163.com/dy/article/HTHUTT3P05119JRD.html
arf也就大约跟现在最进步的差了两代
做65nm的机器
也就大约20年前的技术
也就是现在arf的极限了
https://i.meee.com.tw/AGBMPwi.jpg
https://www.ctimes.com.tw/Art/Show2-tw.asp?O=HJO84ABI9T2AR-STDT
然后重点是这个机器没有管控过
然后他说的号称8nm也就是4重曝光做下去的吧
我觉得这个应该是上海微电子做出来的
因为上一代90nm也是他们做出来的
然后这机子要做到28nm也有困难也要多重曝光
然后arfi 45nm以下才是又一代新技术~就看他们何时继续搞出来吧
管制的机器都是45nm以下的机器包含45nm~
45nm以上的机器没被管制喔