只要不打光 只喷Tin
EUV应该不会多耗电
会耗掉通常都是drive laser 要打tin droplet
打出EUV光 才会耗掉大量的电力
台积只要让机台维持不打光 就算需求减少也
还好 让机台idle 按时PM 货来随时可以曝光
总比关机好
关机再开机….大概要调雷射就要调很久
然后tin droplet喷出的位置 形状 这些都要调
最重要的是曝光的scanner
HW没坏就算你捡到 光跑test 机台卡spec就搞
死你 Test还会莫名奇妙跑不过
Upgrade其实一直都有再做 （GWE—>MV)
应该不太可能一次停4台起来做
ASML upgrade team没人力这样玩吧…..