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震后高效率抢修 工程师睡晶圆厂赶工
2024/04/05 05:30
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工程师连假日夜抢修，有的还直接睡在厂区，展现台湾半导体业高效率行动。
（资料照， 台积电提供）
黄光制程设备移位最棘手
〔记者洪友芳／新竹报导〕台湾东部强震，半导体产业也受到冲击，晶圆厂出现最敏感的
黄光制程设备移位、石英炉管与运送天车掉落等晶圆震损问题；面对客户关切，各晶圆厂
动员人力物力支援，设备与厂务工程师、供应商二十四小时在清明连假日夜抢修，有的还
直接睡在厂区，展现台湾半导体业高效率行动。
台湾东部海域四月三日发生芮氏规模七．二地震，北中南科学园区震度也达四到五级，半
导体晶圆厂的机台设备与相关设施受到影响。设备与厂务人员指出，厂房耐震度有别，但
这次震度达四、五级，且有余震，较为复杂，影响最大的是晶圆厂最敏感黄光相关的微影
机台设备移位，其次是石英炉、运送天车掉落等震损问题。
面对国内外客户关切声声催，各晶圆厂均动员加班抢修。第一线工程师表示，“昨晚一整
晚在厂区没回家”，有的直接睡厂区轮流抢修；工程师透露，黄光制程的机台设备移位最
棘手，因有的分属不同设备厂，需要紧急协商设备原厂人员协助抢修定位，谁最先有人力
支援，就能较快复原。
石英炉管震损 厂商盯存货
这次地震也影响到石英炉管晶圆报废等震损。业者坦言“这需要时间清理与换管”，晶圆
厂盯紧石英炉管等相关货源存货，避免被同业抢走，形同抢料；台湾IC设计客户表示，询
问过晶圆代工厂投产产品是否受损，晶圆代工厂回应说“这次地震较复杂，还在修复中，
要等三、四天后才能回报受损情况”。