台积晶圆厂复原率逾八成 18厂已修复、龙潭厂恢复施工
2024/04/05 01:02:00
经济日报 记者尹慧中、陈昱翔、江睿智／台北报导
各界关注403大地震对半导体晶圆厂影响，在台积电（2330）、世界先进等晶圆厂制造工程师与设备商人员不眠不休修复下，台积电昨（4）日公告，晶圆厂设备的复原率超过八成，新建的晶圆18厂昨日晚间完全复原。台积电ADR 4日早盘上涨约1.7%。
台积电3日晚间表示，403大地震发生后仅10小时内，晶圆厂设备的复原率超过70%，4日晚间再度公告，表示整体晶圆厂设备复原率超过80%，晶圆18厂预估当晚就会完全复原。此外，建厂工地状况检查初步正常，因安全考量，3日台湾各地工地停工，确认安全后已于昨日恢复施工。这代表主导先进封装的龙潭厂工地已复工。
业界指出，403大地震台积电各厂区急召轮班人员与调度人力、加上协力厂商人手，各大厂区外车水马龙，连深夜停车场都大塞车，各厂轮班工程师紧急加入复原工作，让不少设备重启试机，4日就接近全数复原。
备受关注的台积电先进封装重镇龙潭厂此次传出受地震疏散影响，生产制程设备因网络讯号不稳或断线需重新设定参数。据了解，亚东工业气体、志圣等协力厂配合客户要求出动工程师现场协助复原，是晶圆厂复原率能大幅提升的关键。
台积电连续两日公告最新进度，4日公告，晶圆厂设备复原率已超过80%，新建的晶圆厂（如晶圆18厂）预计晚间皆可完全复原。部分厂区少数设备受损并影响部分产线生产，主要机台包含所有极紫外光（EUV）曝光机皆无受损，处于震幅较大地区的部分生产线，预计需要较长的时间调整校正以回复自动化生产。
设备厂指出，因第二天余震较少，复原工作加速进行。国科会指出，三大科学园区陆续复机校准中，竹科园区虽受地震影响最大，但未停水停电，这两天应该机台校准完毕。
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