http://tinyurl.com/46ypkz42
记者吴孟峰/综合报导〕据《日经新闻》报导,尽管中国中芯国际由于美国制裁而无法获得先进的芯片生产设备,在开发7奈米制造后,据称已成立一个研发团队,致力于5奈米和3奈米级制程技术研究,据两位知情人士透露,该团队由联合执行长梁孟松领导。
梁孟松是台积电前资深研发处长,他于2009年初离开台积电后,率多位团队成员投效韩国三星,涉泄漏台积电营业秘密及人事资料,之后又被中芯国际挖角,2017年担任中芯联合首席执行官,替中芯开发7奈米制程技术,对于被外界称为台积电叛将,他曾不满被贴上标签,哽咽表示为台积电卖命16年。
不过,台积电前首席法律顾问杜东佑(Dick Thurston) 今年早些时候曾告诉科技媒体EE Times,他说 :“没有比这个人(梁孟松)更聪明的科学家或工程师了”、“他确实是我在半导体领域见过的最聪明的人之一”。
中芯国际从中国的一家小型代工厂到成为业界第5大芯片代工商,在中美关系日益紧张的情况下,该公司被列入美国商务部实体名单,无法使用领先的晶圆厂工具,严重减缓新制程技术的采用和发展进度。
科技媒体tomshardware报导,由于中芯无法从ASML获得极紫外线(EUV)曝光设备,因此只能借重第二代7奈米制程深紫外线(DUV)曝光机。目前,ASML的Twinscan NXT:2000i曝光机是中芯所拥有的最好的工具,可以蚀刻精细至38nm的生产分辨率,精度等级足以适用7奈米级制造。根据ASML和IMEC的数据,在5奈米制程中,金属间距缩小至30–32nm,在3奈米制程中,金属间距则降至21–24nm。
Thurston认为,在联合执行长梁孟松的领导下,中芯可以在不使用EUV工具的情况下生产5奈米芯片,虽然业界也已多次听到这类消息,然而,从媒体上传出中芯有能力设计以DUV制造3奈米级,这可能还算是第一次。