https://www.cna.com.tw/news/aloc/202310110031.aspx
2023年10月11日10：01
中央社记者许秩维台北11日电、编辑：张铭坤
阳明交大携台积电开拓新技术 引领积体电路发展
阳明交大团队与台积电合作，引入光热合并的方法，并结合紫外线照射和氧气退火技术，
实现超薄层半导体中阈值电压调变的技术，引领积体电路技术的全新发展方向。
阳明交通大学今天发布新闻稿指出，近年来随着半导体元件微缩，二维和准二维厚度的半
导体研究持续升温，其中透过改变材料载子浓度在超薄电晶体中调节阈值电压，一直极具
挑战性，因为材料尺寸已接近甚至小于掺杂原子的尺寸，导致电子传输和控制极其困难，
如何实现阈值电压的有效调变也成为难题。
阳明交通大学电子研究所助理教授连德轩的研究团队与台积电合作，引入光热合并的方法
，结合紫外线照射和氧气退火，成功实现在超薄氧化铟电晶体中大范围及大面积的阈值电
压调变，研究成果刊登于国际期刊“自然通讯”。
研究团队提到，这种方法能实现正向和负向的阈值电压调节，并且是可逆的操作方式，对
下一代积体电路技术的发展提供重要方向；透过阈值电压的可控性，研究团队也通过自动
化雷射系统（与雷杰科技合作），实现晶圆尺寸的阈值电压调变，凸显此方法在测试以外
的的实际应用性。