清大半导体学院奈材中心揭密 打造小型晶圆厂练兵
中央通讯社 潘姿羽 - 1 小时前
林本坚专访1（中央社记者潘姿羽、张建中台北11日电）台湾为延续半导体优势地位，在
全台成立4个半导体学院，其中由中研院院士林本坚领导的清华大学团队是佼佼者，除拥
有豪华师资阵容外，隐藏在后山的奈材中心实验室，大手笔购置了许多仪器，如同一座小
型晶圆厂，成为练兵秘密基地。
除清大半导体学院外，其他3所包括台大“重点科技研究院”、阳明交大“产学创新研究
学院”、成大“智慧半导体及永续制造学院”。今年2月，清大半导体学院已有少部分学
生提前入学，并于9月全面开学上课。
●推动产业前进下世代 林本坚：半导体需要活才
美中贸易战、COVID-19疫情扰乱全球政经局势，却也意外让半导体产业迎来“超级景气循
环周期”，企业满手订单、获利频频创高，气势如日中天。
不过，产业大老未见喜色，反而频频示警、投书媒体，疾呼政府应正视半导体人才荒困境
。林本坚指出，地缘政治掀起的在地生产趋势，恐让人才荒严重程度膨胀数倍。
“浸润式微影之父”林本坚自台积电退休后就在清大任教，去年在清大校长贺陈弘邀请下
，出任清大半导体学院院长，“我在半导体、微影领域里面差不多累积50年经验，有机会
把这个传给下一代，是很好的事情。”
本着传承与回馈的精神，林本坚毅然决然地在80岁这年，交付自己新的任务，即培育半导
体产业的“活才”。
林本坚说明，要培育学生成为领导者，必须先让学生练就特定领域的研究本领成为“专才
”；而半导体科技讲究互助合作，得了解其他各部的语言、理论，因此需要“通才”；但
要能开创新的方向和领域、让人追赶，就得是位“活才”才能办到。
在政府大力推动、产学携手下，台湾现有4座半导体学院，清大半导体学院特点是设有元
件、设计、材料及制程4部。第一学期安排导读，学生除了熟读本部内容，还要学习其他3
部的概论，对半导体产业全貌有基本理解，才能稳扎稳打，让学生逐步从专才、通才走向
活才。
半导体产业要持续往下世代推进，制程是关键一环；然而制程是由产业界主导，所有学校
都缺乏足够师资。林本坚动用在半导体长期的丰厚人脉，找来重量级师资，他在台积电的
得意部属高蔡胜，目前便担任半导体学院制程部主任。
此外，包括微影设备大厂艾司摩尔（ASML）副总经理严涛南、台积电卓越科技院士暨副总
经理余振华、力积电研发副总经理张守仁及前联电研发副总经理游萃蓉等，均是来自产业
界的豪华师资。
位于清华大学校园后山的清华实验室更是练兵的秘密基地，不含内部精密设备仪器，光是
实验室的造价就高达新台币7亿元，一楼的奈微与材料科技中心实验室更是国内校级单位
配备设备最精良、规模最大的实验室。
奈材中心实验室虽然没有价格高达上亿欧元的先进极紫外光（EUV）微影系统，但也有以
优惠价新台币4000万元向日本购入的电子束微影系统，原价达8000万元，这对产业界或许
仅是零头，但已经让很多学校羡慕不已。
奈材中心实验室设有无尘室，进入前要穿着连身的无尘衣帽、手套，口罩，并经过风淋室
；走进无尘室后，可看到镀膜设备，还有黄光区，配备有蚀刻及微影制程设备，有如一座
小型晶圆厂。学生在学校可以先接触实作，进入产业界前，预先有心理准备。
除了重量级师资与实作场域，学研界与产业界的合作也势在必行。林本坚指出，产业界考
量商业利益，通常只研发下一代技术，下两、三代技术就没有办法了；半导体学院则可超
前部署，尽情探路、冒险。
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