台积电将氢氟酸废液合成冰晶石 估年创4亿元效益
The Central News Agency 中央通讯社
2021年11月30日 14:15
（中央社记者张建中新竹30日电）台积电力推循环经济，于中科晶圆15B厂启用首座氢氟酸
废液合成冰晶石系统，预计民国112年扩大导入先进制程晶圆厂区，估计一年将创造新台币4
亿元效益。
晶圆加工与清洗制程会产生氢氟酸废液，为友善环境并提升废液的再利用价值，晶圆代工厂
台积电107年起与协力厂商合作启动氢氟酸废液回收技术研究。
台积电表示，透过分析废液浓度、再制技术、药剂制备与销售通路等面向，评估将氢氟酸废
液合成为高纯度冰晶石最具废弃资源高值化优势。
台积电指出，冰晶石主要用于铝工业做为助熔剂，可于电解炼铝过程中节省逾25%能耗，由
于全球天然冰晶石产量稀少且几乎开采完毕，现多为人工合成品，一般制作过程需较多原料
且反应温度较高。
台积电表示，以氢氟酸废液做为冰晶石制程原料，根据氢氟酸废液的浓度需求，与厂商合作
研发出可生成冰晶石的反应药剂，再搭配适当的操作参数降低反应温度，成功使氢氟酸废液
合成为高纯度冰晶石，可直接于厂内生产，在地研发的反应药剂也提升国内循环经济产业的
再生技术。
位于晶圆15B厂的首座氢氟酸废液合成冰晶石系统，今年9月正式启用，台积电指出，至11月
已减少氢氟酸废液委外处理量达500吨，产出冰晶石150吨，预计于112年扩大导入至先进制
程晶圆厂区，目标每年减少委外处理量4.6万吨，产出冰晶石1.2万吨，创造逾4亿元效益。
（编辑：林淑媛）1101130
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