https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1433770
再生水导入制程 台积电领先全球同业
2021/02/27 05:30
https://img.ltn.com.tw/Upload/business/page/800/2021/02/27/190.jpg
水情拉警报，台积电开全球先河，今年可望将再生水导入南科厂先进制程中。
（记者洪友芳摄）
〔记者洪友芳／新竹报导〕水情拉警报，台积电（2330）去年启动南科再生水厂建厂工程
加快施工脚步，预计今年3月完成主体建筑、年底完工启用，致力将工业废水与民生污水
净化，产出优于进水品质要求的再生水，并导入制程，届时将成为全球第一个导入工业再
生水的晶圆厂，开全球半导体业先河。
台积电自许朝绿色制造发展，持续透过“节流”与“开源”并行，投入资源与人力强化用
水效率，打造高效能与周密的水管理网络。为持续降低自来水用水量，积极使用工业废水
与民生污水的再生水，台积电2015年开始发展再生水技术，2016年打造全国第一条半导体
工业再生水试产线，回收处理工业放流水。
台积电去年启动南科再生水厂建厂工程，为台湾第一座民营再生水厂，预计今年3月完成
主体建筑，随后将安装系统、启动试产并持续调校，致力产出优于进水品质要求的再生水
。
再生水厂预计今年底通水，未来最高每天可供应2万吨水量。
台积电还以全物理压滤的晶背研磨废水再生技术，取代添加化学药剂的混凝沉降法，处理
半导体封装制程大宗废水晶背研磨废水，节省化学药剂用量，同时产制品由原本的无机性
污泥，转化为有价的高纯度工业级硅产品。
台积电指出，晶背研磨废水资源化系统去年7月在先进封测3厂正式启动，截至今年1月共
回收逾1.5万公吨晶背研磨废水，成功产制30公吨工业级硅产品。台积电预计后年扩大导
入目前兴建中的先进封测2厂第二期、先进封测6厂，朝资源永续的目标持续迈进。