[请益] Overlay control 书籍 rolems PTT批踢踢实业坊

[请益] Overlay control 书籍

楼主: rolems (rolems) 2018-09-02 01:00:26

各位好~
小弟有幸录取国内公司黄光制程RD
但是该公司学习资源不多，加上大家都很忙碌
所以想说自学比较好
想特别针对Overlay control的领域
包含ASML LIS, W3F3 model 数学模型
Aberration 对 Overlay影响
目前我只找到这本书:
Principles of Lithography, Third Edition
不知道大家有没有推荐的书籍~
英文书籍佳
谢谢大家~

作者: ss910126 (LEE) 2018-09-02 01:05:00

录取

作者: Marcus (马可仕) 2018-09-02 04:57:00

Burn写的书

作者: fleetwood (加盟Metro!!) 2018-09-02 05:24:00

去amazon 找 Harry Levenson的书先了解基础再来跟asml application要lens aberration AP KT

作者: giggs11s (小曼) 2018-09-02 13:29:00

はじめての半导体リソグラフィ技术会日文的话，这本很推，冈崎信次写的书，amazon有卖

作者: autoppp (☆㊣↖☯☁☁☯↘㊣☆) 2018-09-02 17:23:00

推g大说的

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