Re: [讨论] 各位的第一片报废是什么原因?

楼主: negohsu (专打不专业环团)   2017-12-07 18:47:40
很多年以前还是菜比巴的年代
有部份机台前后段会互转,但是系统没办法卡控
有一台机台我借了一个礼拜都借不到,有一天突然给借了
我就兴冲冲的进FAB run实验
run完之后才看到机台上面贴了张告示"此机台已转RUN后段制程"
然后我的wafer就只能报废,cassette还要抱去清洗。
作者: Lindeman5566 (德曼56)   2017-12-08 00:25:00
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