先前在精材上班的时候
AMAT CVD RUN 苹果单时,另一颗CHAMBER要拉下来PM,
但两颗CHAMBER都共用同一台CHILLER....结果另一颗CHAMBER 在RUN NEO (苹果单)时
我把CHILLER给关掉了....造成在RUN苹果单的CHMABER因为CHAMBER控温异常ABORT
在RUN苹果单的CHAMBER 直接死货两片!= =
版上传说压降时,会丢出一堆报废也是真的!
刚好当天下午中坜工业区有压降事故,老板直接说...就跟压降一起报掉这两片报废!
其它工程部门也很好笑,刚好把一些MO事故藏起来的wafer,也一并列压降事故报废处理
※ 引述《mandibular (颚的)》之铭言:
: 小弟目前年资接近一年 总共报废了两片
: 第一片是被甩出来破片
: 第二片是pm的时候衣服勾到旁边机台气体箱的开关interlock 触发机台alarm
: 请问各位学长有因为一些什么原因而报废的呢QQ
: