http://news.ltn.com.tw/news/business/breakingnews/2041834
台积电、三星拼7奈米制程 ASML极紫外光设备订单强强滚
〔记者洪友芳／新竹报导〕全球半导体微影技术领导厂商艾司摩尔 （ASML） 公布今年第
一季财报，季营收19.4亿欧元，毛利率为47.6%，EUV极紫外光微影系统的未出货订单则已
累积到21台，价值高达23亿欧元，预估第二季营收将落在19到20亿欧元之间，毛利率约为
43到44%。
ASML总裁暨执行长温彼得 （Peter Wennink） 指出，“积极的产业环境为2017年提供了
一个的强劲开始，我们预估这样健康的市场需求将持续今年一整年。我们看到客户对于
DUV的强烈需求，有些客户选购效能升级方案以优化他们现有的浸润式机台，因此我们的
服务和升级业务在第一季度的表现也非常好，预估这样的趋势将延续到第二季。”
温彼得也说明攸关先进制程设备销售进展，指出EUV极紫外光微影系统正进入量产阶段，
订单持续涌入，目前的未出货订单已累积到21台。
三星去年年中传出购买EUV 机台设备，传出预计今年底量产7奈米；台积电7奈米制程已在
第一季底试产与准备明年量产，此制程首度导入极紫外光微影技术，并为客户提供强化版
的产品设计。
对于第一季产品销售情况，ASML表示，深紫外光 （DUV）微影持续出货，NXT:1980浸润式
微影系统给内存客户及逻辑芯片客户进行10奈米量产、7奈米制程开发，目前NXT:1980
浸润式系统的累积装机量已提高达到60多台。
本季ASML和Cadence宣布合作，将ASML的微影和图样模拟（patterning simulation） 模
型整合到Cadence的产品中，这将帮助芯片设计业者在设计阶段就能进行可生产性确认，
以达到更好的效能并缩短上市时程。极紫外光（EUV）微影已在第一季末到第二季初间完
成第一台NXE:3400B系统的出货。
(自由时报 2017/04/20)