环评过了 台积5奈米启动
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环保署环评大会昨(18)日通过攸关台积5奈米先进制程布局的南科环境差异影响评估案
。台积电表示,此案通过让台积5奈米制程基地有着落了,最快将在今年动工,目标在
2020年量产,拉开和英特尔及三星差距,独步全球。
台积电厂务处长庄子寿会后表示,5奈米制程还在发展中,台积5奈米制程是未来二至三年
计画,占地约40公顷,投资额几千亿元,待台积董事会通过后就会启动。
昨日环评大会决议,南科管理局须在今年6月30日前成立监督小组,11名成员中,将有三
至四名成员由当地居民及民间团体推荐代表担任。
环评委员李育明表示,南科环差案自2014年底送进来,历经两年审查,因制程更新致用水
用电量将会增加,且针对危险物质,依法规不必做风险评估,但开发单位仍自主性进行风
险评估。
李育明进一步指出,台积电在专案小组第三次会议延续会议上说明,5奈米制程晶圆,在
使用阶段的用电量,是现有25奈米制程的10%,且台积电承诺,污染总量及废水量会减少
。
因台积电更新制程,南科每日增加5万吨用水量、70万千瓦用电量。南科管理局长林威呈
表示,南科承诺未来将采用1.25万吨的永康再生水、以及园区2万吨工业回收再生水,将
在南科环3用地上设置再生水厂,并纳入环差变更内容。
南科第一期和第二期环评分别于1996年及2003年通过,因台积电和联电更新半导体制程,
须增加用水用电量,依规定须办理环差变更,环保署专案小组及环评大会陆续通过南科环
差案,使台积电未来竞争布局上再下一城,往前推进。
台积电南科厂目前主力制程为16奈米,后续10奈米和7奈米生产重心放在中科,
但接续5奈米制程将由南科厂担纲。