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股后嫁老外 台积7奈米竞争恐加剧
2016-06-20 04:05 经济日报 记者简永祥／台北报导
荷兰设备大厂艾司摩尔（ASML）并购股后汉微科，牵动台积电与三星的制程竞赛。设备业
者认为，ASML并购汉微科之后，可能协助三星加快7奈米量产，使得台积电与三星的7奈米
大战战火更烈。
业界观察，三星在10奈米制程失利之后，已宣布提前7奈米量产计画，率先在7奈米导入
ASML量产的极紫外光微影制程（EUV）设备机台。三星规划，明年第2季或第3季EUV机台装
设完工之后，明年底就会用于量产7奈米芯片。
台积电在7奈米制程尚未导入EUV设备。由于ASML并购汉微科之后，在先进制程机台能量大
幅提升，业界密切关注ASML是否会协助三星加快7奈米布局，以及台积电后续因应动作。
台积电表示，对ASML并购汉微科持肯定态度，预期以ASML雄厚财力，可以让汉微科有更大
的后盾，支持在电子束检测更先进的研发。
对于三星提前在7奈米采用EUV微影制程，台积电表示，考量目前EUV设备还有很多技术瓶
颈，公司才决定不在7奈米导入使用，将紧盯对手发展。台积电强调，若EUV设备在2018年
更成熟，该公司也会采取应变对策，绝不会让对手取得先机。