建议你可以先捞chart看correlation，可以by tool, by time, by lot, by process 等等的方式去找。如果有defect formation model 或是以前的经验，就可以排出check 的 priority。视情形再搭配EFA的分析。
※ 引述《kuoQ (QQ)》之铭言：
: 目前我在八吋厂担任defect team工程师
: 因为有时会难以厘清defect来源
: 想跟是从事同单位性质的工程师讨论一下分析手法
: 或许借由讨论可以让彼此学到不同方法
: 若不方便公开的话可以来信讨论
: 谢谢!!