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[请益] 关于FOUP CLEANER

楼主: photosurf (夏日浪人)   2013-01-21 09:44:55
台湾有本土厂商在做这一块有很多吗?
据前辈说日本有2家, 德国1家是市场主流
半导体业界都会用到FOUP CLEANER这设备吗?
还是有其他替代方法?
作者: andy7839 (Purple)   2013-01-21 21:32:00
有FOUP都要吧............
作者: mmbpoken (NICK)   2013-01-21 21:33:00
DMS
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