Re: [新闻] 年底前关闭部分EUV省成本,台积电:不评

楼主: yingjeou (英九)   2022-09-03 01:48:09
我也认为半导体厂目前不会断电省成本,Fat大大是设备商角度
那我以User角度来看,关电问题
关电就是没钱才关的,所以真的关电后:
1.关电后缺料就去拆PM3机台上的parts,反正主管能过的了这关最重要
2.管理问题,拆机件要不要补?何时补?怎么补?
工程师拆了可能不讲的,换了一个坏的,或零件、板子断电后就挂了,找谁算?
3.有的parts就是要过电,要加热的
例如真空机台的turbo pump、dry pump
不转放著可能开电就转不起来了
然后真空管路是要加热的,制程中的废弃生成物很多遇水气是会有腐蚀性的
关电没真空、不加热,水气多了就咬穿管路
要避免这样的情况,关电前又要先洗干净管路
很多管路又要外包才拆的下来(高空作业,危险性太高)
不洗不安全,洗了扣一扣电费根本就没省到
有没有关大电省钱的公司?有我碰过,最后真的省到钱的没几个
说真的与其搞这种偏门省钱法,不如找找N2漏气
换安装节能设备,节能pump是都换完了没啊?一台节能pump往往装一年就回本了......
※ 引述《FatSucks (PRS 最高!)》之铭言:
: 身为一个设备商现职工程师...
: 半导体设备是不太可能上线之后关大电的!!甚至 EMO 按下去你就是得被惩处...
: 这个概念跟一般用电不太一样,
: 就机台宁愿开着放在那边,就算不 RUN 货 (Wafer) 也不愿意关大电
: 关大电以后再开,很多东西要重新调整,甚至有些精密的元件可能这样挂掉
: 举例来说好了:
: 客户有一次不知道冲三小去关大电,然后一颗 power supply 就挂掉了...
: 这下好了啊,依照目前现在的货运的状况,台湾没有这颗 power supply 可以买,
: 要从海外买,你知道一颗从下 PO 到客户手上, lead time 要多久吗...
: 答案是要等到十二月...
: 好这是其一。
: 接着你顺利地开起来了,因为机台中间有关大电,
: 一般机台里面会有所谓的 FFU 或者你就想像是一个风扇一直在吹,
: 目的是为了稳定机台内的气流,减少 particle 的乱跑
: 但是因为你关了大电,FFU 当然不会吹,这时候 particle 就乱飞了啊...
: 这只是其中一个影响,如果是有阀件的,
: 因为太久没动,一动起来反而磨出一些 particle...
: 再举例一个
: 客户有一次年保,年保他给我关大电,也顺利开了起来,
: 结果 particle monitor
: (简单来讲就是要测定一片 wafer 进去这个机台进行制程到出这个机台,总共会
: 有多少 particle 在上面的一个检测)
: 你知道测了多久吗? 测了整整三天... (Dummy run + 测)
: 你说机台开着 idle 耗电,因为没货要省电所以关电,
: 你先考虑一下上面两个...这两个花的时间成本绝对大于三小省电...
: 再来晶圆的第一步就是曝光,曝光精度如果跑掉 (不管你是位置跑掉/ 线宽不对...etc
)
: 你后面蚀刻、显影...三小的技术再强都没干用,
: 而且因为晶圆是一层一层铺上去的,如果你在后段 layer (最后面几层) 精度跑掉
: 抱歉,整片 wafer 不能用,或者应该说整盒 (25片) 等报废。
: 然后你就要感谢 ASML 的工程师, 24 HR 在那边 trouble shooting...
: 好,那么如果从最一开始关大电到整个开起来完全顺利,
: 还有精度的测定 (这个就超多项目要做,不好意思,一个项目基本半天起跳,
: 而且重点是还不一定第一次就过),再来客户这边可能还要重新 Qualification
: (简单来讲刚刚有说 wafer 有很多层,假设一百层,有可能你要舖的每一层都要重新测

: 让 QC 甚至客户 那边说:喔喔这样可以,你才能机台重新上线喔...)
: 以上是我一个从事这行超过十年的废物,尽可能的白话解释了...
: 关大电省电这根本就是...我不想说但是实际上就真的是:‘外行人讲的话...’
: 不过也真的是这些外行人说的话,让市场制造恐慌...才有便宜价可以捡啊...

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