※ 引述《lichuer (Z揪儿)》之铭言：
: ※ 引述《chinaeatshit (我爱台湾！中国吃屎！！)》之铭言：
: : 那个...我文组的啦
: : 我也很好奇EUV关机后要多久才能上线
: : 专业5F好像很忙
: : 大家也都很好奇
: : 能请changecash大大发一篇文详细解说吗
: : 也许下一届名人堂你也有机会被提名
: 机台off过 启动要调机 cw跑完 跑lot交替跑
: qc par scr purge有的没的 看那台需要什么就验什么
: 有时qc就要验几十种 不然就是particle跑了几百次还是无法进chart
: 比较旧一点的机型精度不高还比较容易mon过
: 验不过搞死EE跟PE 然后MFG会每天早上提
: 验机时程不一定 移机重启几个礼拜
: 新机可能一 两个月都无法release run
: 机台alarm会清空reset 但不会整台关掉
: 会岁修 过阵子就要了 新厂我不清楚时程
: 但不会同时进行 要保留产能
: N12 N16 N20每天堆到炸开 何况N7 N5
: 不随便回应市场臆测 因为提出的问题实在是不知怎么回答
身为一个设备商现职工程师...
半导体设备是不太可能上线之后关大电的!!甚至 EMO 按下去你就是得被惩处...
这个概念跟一般用电不太一样，
就机台宁愿开着放在那边，就算不 RUN 货 (Wafer) 也不愿意关大电
关大电以后再开，很多东西要重新调整，甚至有些精密的元件可能这样挂掉
举例来说好了：
客户有一次不知道冲三小去关大电，然后一颗 power supply 就挂掉了...
这下好了啊，依照目前现在的货运的状况，台湾没有这颗 power supply 可以买，
要从海外买，你知道一颗从下 PO 到客户手上， lead time 要多久吗...
答案是要等到十二月...
好这是其一。
接着你顺利地开起来了，因为机台中间有关大电，
一般机台里面会有所谓的 FFU 或者你就想像是一个风扇一直在吹，
目的是为了稳定机台内的气流，减少 particle 的乱跑
但是因为你关了大电，FFU 当然不会吹，这时候 particle 就乱飞了啊...
这只是其中一个影响，如果是有阀件的，
因为太久没动，一动起来反而磨出一些 particle...
再举例一个
客户有一次年保，年保他给我关大电，也顺利开了起来，
结果 particle monitor
(简单来讲就是要测定一片 wafer 进去这个机台进行制程到出这个机台，总共会
有多少 particle 在上面的一个检测)
你知道测了多久吗? 测了整整三天... (Dummy run + 测)
你说机台开着 idle 耗电，因为没货要省电所以关电，
你先考虑一下上面两个...这两个花的时间成本绝对大于三小省电...
再来晶圆的第一步就是曝光，曝光精度如果跑掉 (不管你是位置跑掉/ 线宽不对...etc)
你后面蚀刻、显影...三小的技术再强都没干用，
而且因为晶圆是一层一层铺上去的，如果你在后段 layer (最后面几层) 精度跑掉
抱歉，整片 wafer 不能用，或者应该说整盒 (25片) 等报废。
然后你就要感谢 ASML 的工程师， 24 HR 在那边 trouble shooting...
好，那么如果从最一开始关大电到整个开起来完全顺利，
还有精度的测定 (这个就超多项目要做，不好意思，一个项目基本半天起跳，
而且重点是还不一定第一次就过)，再来客户这边可能还要重新 Qualification
(简单来讲刚刚有说 wafer 有很多层，假设一百层，有可能你要舖的每一层都要重新测过...)
让 QC 甚至客户 那边说：喔喔这样可以，你才能机台重新上线喔...)
以上是我一个从事这行超过十年的废物，尽可能的白话解释了...
关大电省电这根本就是...我不想说但是实际上就真的是：‘外行人讲的话...’
不过也真的是这些外行人说的话，让市场制造恐慌...才有便宜价可以捡啊...