[闲聊] 牙膏厂的10nm过去,现在与7nm的未来

楼主: oopFoo (3d)   2021-04-26 22:41:52
i牙膏为什么在10nm拖了那么久?
去年六月JK走没多久,eetime就出一个想稳定Intel军心的文章。
https://www.eetimes.com/intels-10nm-node-past-present-and-future/
里面就10nm碰到的问题讨论了一下。文章重点是问题解决了,以后Intel一帆风顺。不过7月就发生7nm延迟6个月,狠狠打了Murthy一巴掌。
这篇证实了大家对Intel 10nm猜测的问题点。
1) COAG
2) Cobalt Interconnect
3) SAQP - 这点其实跟2)有关。
COAG就由Intel这篇来解释
https://reurl.cc/YWaL1O
https://newsroom.intel.com/newsroom/wp-content/uploads/sites/11/2017/09/mark-bohr-on-intels-technology-leadership.pdf
里面讲2017下半年10nm就试产。这份ppt都2017/9月了还能睁着眼睛说瞎话,也是不容易。
不管如何Mark Bohr认为COAG非常重要
https://reurl.cc/OXNdAA
https://newsroom.intel.com/newsroom/wp-content/uploads/sites/11/2017/03/Mark-Bohr-2017-Moores-Law.pdf
还特别强调Intel一直是领先业界引入新技术,所以Intel先COAG是对的。结果没多久后Mark Bohr就被退休,因为COAG良率超糟,是10nm延迟的第一战犯。
第二个问题是Cobalt材料,之前都是用Copper,用新材料本来就有风险,而且因为Cobalt的需要,Min Metal Pitch要36nm,需要SAQP才行。4x曝光良率要提升当然不容易,再加上新材料学习的曲线,就更加拖延时辰。其实Cobalt的导入太早,如果用EUV的话,就没有SAQP的问题。
但有点讽刺的是,这些研发带来的效果都不太理想,最后是靠Super Fin来救回10nm的。基本上10nm的问题是野心太大,几个头头自我感觉良好,问题早就发生也不承认。
作者: leung3740250 (jenius921)   2021-04-27 15:49:00
当年牙膏搞10的时候duv依旧是烙赛状态,十几年前就有人喊euv取代duv,结果喊了十年才到达能用级别

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