半导体设备洁净室机器人市场2020年达10亿美元
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根据VLSI预测，自2015年以来，用于半导体制造设备的真空和常压机器人(atmospheric robot)市场的复合年增长率为11.7％，预计到2020年将达到10亿美元。无尘室机器人预测成长趋势与半导体制造设备的长期增长率相同。
真空机器人和常压机器人方面，从2015年到2020年，真空机器人的营收复合年增长率为19.9％，而常压机器人的复合年增长率仅为6.5％。真空机器人强劲增长的部分原因是半导体制造的需求提高。
至于，机器人价格方面，真空机器人市场由一家供应商主导，因此价格趋于稳定。相比之下，常压机器人的市场分散于几个大型供应商而形成竞争激烈的环境，并使这些产品的价格承受压力。
无尘室机器人方面，用于蚀刻工具（占40％），沉积占36％，其他工具占24％，例如微影、离子注入、CMP、制程诊断和湿法加工。至于供应商（包括专属供应商）主要来自北美（47％）和日本（44％），其余9％来自欧洲和韩国。