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[请问] CMP半导体设备应用

楼主: kiyohara (清源)   2014-10-28 12:02:50
请问一下
小弟目前研究CMP设备
想问IC传统制程使用的CMP和目前3DIC所使用的CMP是同款吗? 可以用于传统IC也可用于3DIC?
里面的零件(如卡环 研磨器 Pad )也需要更换吗?
谢谢
作者: hvariables (Speculative Male)   2014-10-28 12:41:00
Electronics板
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