拆坏光刻机！中国重构工程传翻车 ASML遭爆“被叫去救火” 背后内幕曝光
2025.10.21 12:12 工商时报 陈彦绮
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中方试图拆解现有DUV设备研究技术，结果导致机台故障，最后还得紧急向ASML求助维修
。图／美联社
在美中科技角力日益升温之际，荷兰光刻机巨头ASML再度卷入风暴。由于美国禁止ASML向
中国出售最先进的EUV（极紫外光）曝光机，中国半导体发展受阻，为了突破封锁，中方
竟试图拆解现有设备研究技术，结果导致机台故障，最后还得紧急向ASML求助维修。
美国著名地缘政治分析师Brandon Weichert撰文指出，自2018年起，美国以“科技战”为
核心，对中国祭出芯片与高科技设备禁令，而北京则以稀土出口管制作为报复。这场你来
我往的攻防战，不仅重塑了全球供应链，也使中国在人工智能与先进芯片竞赛中陷入瓶颈
。
由于无法取得美国及其盟友掌握的高阶芯片与制造设备，中国被迫寻求替代方案，尝试自
行研发甚至仿制相关技术。ASML生产的光刻机被视为全球芯片制造的关键设备，但在美国
压力下，中国目前仅能购得较旧的深紫外（DUV）光刻机，无法取得最先进的EUV机型。
Weichert透露，近期中国工程师为了掌握ASML设备的核心技术，尝试拆解并逆向研究一台
DUV光刻机，意图为未来自制版本铺路。然而，在拆解与重组过程中，该设备遭到损坏，
中方只得向ASML请求派员协助维修。ASML技术人员抵达后发现，问题并非机台自然故障，
而是因中方尝试“解构”设备导致。目前尚不清楚ASML是否完成维修，而ASML是否会继续
履行维修合约也存在变量。
Weichert指出，这一事件突显美国芯片禁令对中国高科技发展造成的实质冲击，也揭示北
京仍有相当长的技术差距要追赶。光刻机的研究工程并非普通工业仿造可比，其内部精密
程度极高，稍有差错便可能导致设备报废。
然而，他同时警告，尽管面临封锁，中国仍将持续加大投入，试图打造自主芯片生态。短
期内北京难以摆脱对西方技术的依赖，但只要美中对立持续、稀土管制与芯片禁令互相制
衡，这场科技对决就不会停止。
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