CMP领域的各位先进大家好，
最近在研究CMP的重要性及未来的发展趋势，同时也想深入了解如何制定slurry和clean的
配方。
目前有找到一份市场报告，但价格高达5000美元，
https://www.gii.tw/report/if1473283-cmp-equipment-consumables-market-analysis.
html
因此想请教各位先进，是否有推荐的CMP权威书籍或相关文献可以参考？
先行感谢各位的宝贵分享，感恩！