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管制扩大！这几款ASML曝光机不能卖中国了
2024/01/25 15:06
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荷兰半导体设备巨擘ASML揭露不能卖给中国的设备型号。（路透社）
陈丽珠／核稿编辑
〔财经频道／综合报导〕为遏制中国研发14奈米以下的先进制程，荷兰对中国半导体设备
出口禁令扩大。荷兰半导体设备巨擘艾司摩尔（ASML）证实，今年起NXT：2000i、NXT：
2050i、NXT：2100i三个型号及后续推出的关键浸润式微影设备，都无法取得出口许可；
同时，少部分中国晶圆厂也无法取得NXT:1970i和NXT:1980i两个型号曝光机。这意味着，
部分中国晶圆厂只能从ASML买到2013年首次出货的NXT:1965Ci型号曝光机，落后最先进的
DUV曝光机NXT:2100i 五代。
为了因应芯片禁令，中国赶在限制措施实施前，疯狂采购半导体设备。根据市场调查数据
，中国在2023年采购ASML曝光机已超过300台，是2022年的3倍。初步核算，2023年中国向
ASML购买曝光机金额介于80亿美元至100亿美元之间，年增3.2倍。
中国扫货迫使美国及荷兰政府出手补漏洞，ASML本应在今年向中国交付三台曝光机，出口
许可在今年1月初被吊销，持续围堵中国半导体。
根据ASML在24日举行年度会议上，财务长Roger Dassen证实，已和荷兰政府进行确认，
2024年起，ASML向中国出货的NXT：2000i、NXT：2050i、NXT：2100i三个型号及后续推出
的关键浸润式微影设备，都不会取得荷兰政府许可。
此外，少部分中国晶圆厂也无法取得NXT:1970i和NXT:1980i两个型号曝光机的出口许可。
据悉，ASML先前仅提及，NXT:1980i无法出口给部分中国晶圆厂，而NXT :1970i无法出口
给中国是首次公开提出。
根据中媒财新报导，NXT:1970i首次出货的时间是2013年，是2016年首次出货的NXT:1980i
的上一代产品，这项禁令意味着，部分中国晶圆厂只能从ASML购得2013年首次出货的
NXT:1965Ci型号曝光机，落后目前最先进的DUV曝光机NXT:2100i五代。