ASML新CEO传来台会魏哲家 急催台积下单高单价High-NA EUV
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半导体供应链传出，即将在4月走马上任的ASML新任执行长Christophe Fouquet率领多名高
层来台，将与台积电总裁魏哲家会面，预计下一行程将前往韩国三星电子（Samsung Electr
onics）总部。
此次来台受到关注的是，相较英特尔（Intel）的积极度，台积电在次世代高数值孔径（Hig
h-NA）极紫外光（EUV）曝光机采购态度上则是格外谨慎，目前仍在评估中，这也使得ASML
相当紧张，若台积电放缓新设备导入时程，将影响未来数年业绩走势。
ASML执行长Peter Wennink将于2024年4月退休，由现任商务长Christophe Fouquet接任。供
应链最新传出Fouquet率领多名高层来台，与台积电总裁魏哲家会面。
除疫情期间，过往ASML执行长等高层每年皆会来亚洲与客户交流，在2023年3月美中禁令升
级之际，Peter Wennink就低调前往中国，拜会中国商务部部长王文涛，但最后ASML也必须
遵守美国禁令，只能加速供货DUV 设备予中国客户，此也大幅推升ASML过去1年来在中国的
营收与出货表现。
如2023年第3季中国营收比重大幅拉升至46%，是2022年同期的3倍，同时也远高于第2季的24
%，但此非市场正常供需，日前应拜登政府要求，ASML提前取消部分用于成熟制程的DUV设备
出货中国。
随着中国出货高峰已过，ASML先前也保守预期，由于客户仍不确定产业需求复苏的力道与速
度，因此预计2024年将是过渡的一年，营收约与2023年相近。
供应链表示，即将上任的Christophe Fouquet，面对来自中国的成长动能熄火，必须要加速
研发生产，同时肩负与英特尔、三星及台积电的EUV新机订单洽谈的巨大压力。
ASML先前释出2024年将出货10台High-NA EUV曝光机，外媒传出英特尔已重金采购6台High-N
A EUV曝光机，估计将用于18A制程技术之后的节点，以1台要价近4亿欧元计算，此一订单就
要24亿欧元，约逾新台币800亿元。
英特尔虽未公布采购量数，但也证实已收到High-NA EUV设备的主要组件，双方将开始进行
设备组装，在导入时程上抢下头香。英特尔立下2024年坐上全球晶圆代工老二地位，未来并
会在先进制程技术重返领导地位。
然而，ASML最期待的是台积电下大单，台积电自第二代7奈米进入EUV世代后，至今EUV设备
采购量最多，但现在对于High-NA EUV设备的采购意愿却是评估中。
供应链认为，High-NA EUV设备一台要价近4亿欧元，远高于目前约1.5亿欧元机种，台积电
会谨慎在成本、良率等效益上仔细衡量，其认为在7奈米以下先进制程世代，抢快不一定赢
。
比如，三星早在2022年6月就宣布进入3奈米GAA世代，但至今未见大单落袋，连自家手机晶
片都未采用。
对台积电而言，以其产能与承接订单规模来看，High-NA EUV设备首波采购至少必须花上新
台币千亿元，如果客户未携手同行，或是在2奈米以下先进制程技术推进受阻，抢快推出反
而得不偿失。
以目前规划来看，台积电2奈米还用不到，至少要到A14、A10制程才有机会使用，也就是正
式扩大采购可能要等到2029年后。
供应链认为，尽管英特尔采购EUV新机，力图在未来数年重返制程技术领先，抢夺台积电客
户，但目前英特尔仍持续扩大委外台积电，且现在用得起3奈米以下芯片业者，几乎也都下
单台积电，转单的成本相当高，因此客户变心的机率已远低于过去。
对英特尔、三星晶圆代工事业而言，新机练兵对象只有自家而已，买了天价的High-NA EUV
，从机台验收到生产验证，流程相当繁杂。
英特尔虽宣布与ASML开始合作机台组装，然从原厂装配、移机，再到基本功能测试，此过程
相当耗时费力。
接下来效能、可靠度与机台差异及搜集累积更多的生产数据，完整流程更是将花费钜额费用
，待真正试量产又将面临成本摊提，当中还有众多原物料与相关设备配合，台积电考量的是
，稍一不慎就可能营运受创。ASML新任执行长此行拜访台积电，如何说服台积电提前采购时
程及承诺与台积电的后续合作，将攸关未来数年业绩表现。
据估算，台积电2023年第3季7奈米以下制程占营收比重近6成，随着3奈米逐季拉升，比重将
同步增加；以营收表现来看，台积电在全球晶圆代工稳居第一，市占也逼近6成。
而在7奈米以下先进制程客户、产能方面，三星、英特尔主要以自家产品代工为大宗，而台
积电手上拥有逾500家客户。先进制程技术推进与产能优势，加上是真正可大量生产的业者
，台积电动向不只牵动ASML研发生产与业绩，更攸关全球半导体产业链发展走势。
另一方面，ASML在全球持续进行投资，在台湾已设置YieldStar和eBeam的产线，在林口工一
研发中心、桃园龟山扩产计画，总投资金额就达数百亿元，主要为晶圆量测设备等代工生产
，并提供相关技术支援及培训服务。
此外，先前经济部也核定通过ASML的“下世代晶圆量测设备研发伙伴计画”，计画总经费为
9.5亿元，其中，经济部补助2.85亿元，占总经费30%，计画执行期间为2年。