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3奈米量产 台积电扩大用再生水
2023/08/01 05:30
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随着三奈米制程量产的产能提高，台积电扩大使用再生水，并强化节水措施。
（台积电提供）
〔记者洪友芳／新竹报导〕晶圆代工龙头厂台积电贡献全台湾科学园区产值最高，也是用
水用电的大户；随着三奈米制程量产的产能提高，用水量也增加，但台积电同时扩大使用
再生水，并强化节水措施。
台积电指出，去年台湾一度水情告急，公司依据经济部水利署公布的水情灯号，内部也有
原水供应不足危机管理内控对应措施，盘查厂区节水机会点、持续强化回收水系统设备用
水效率，去年新增节水量三三五万立方公尺，全年度累计回收水量达二亿一千五百万立方
公尺。
除了致力提升厂内用水回收效益，台积电表示，为更善用每一滴水资源，也积极发展再生
水技术，去年九月台湾第一座民营再生水厂“台积电南科再生水厂”正式通水，将南部科
学园区工业废水转制成再生水，并导入先进半导体制程使用，也是全球半导体业创举；台
积并与政府合作，“台南安平再生水厂”今年完工启用，未来每日可产出三万五千立方公
尺再生水供应南科厂区使用，透过扩大再生水挹注，逐年降低自来水用量。
根据台积电统计，台积电去年用水量占新竹地区比重为十二％，台中地区占比三．八％，
台南地区占比十三．六％。根据园区用水统计，今年五月，南科台南园区的用水量相较其
他园区明显增加，日达二十三．四七万立方公尺，月增七％，推估跟台积电量产三奈米制
程的产能增加有关。
台积电每年利用世界资源研究所（WRI）的水风险评鉴工具，鉴别各厂区所在区域的水风
险等级，去年结果显示，美国WaferTech位于低风险区域；台湾厂区及子公司采钰位于中
低风险区域；中国厂及南京厂因所属地区原水供应水质差异，分别位于高风险及中高风险
区域。