https://www.epochtimes.com/b5/23/4/9/n13968932.htm
ASML在台研发2奈米光学设备 台经部：补助最快5月拍板
【大纪元2023年04月09日讯】（大纪元记者侯骏霖台湾台北报导）半导体设备大厂艾司摩
尔（ASML）持续扩大对台投资，近期针对2奈米晶圆光学量测设备的研发制造，向经济部
申请A+企业研发补助案。对此，台经济部表示，审查重点包含如何协助供应链技术升级及
国产自制率等两面向，最快会在5月定案。
新北市长侯友宜曾透露，艾司摩尔增加在台投资，第一期投资金额高达新台币300亿元，
预计落脚林口、约2千名员工进驻；针对2奈米晶圆光学量测设备，艾司摩尔去年也向经济
部申请研发补助计画，一旦审查通过，预计政府会有低于五成的补助。
经济部指出，台厂供应链目前已具备深紫外光（DUV）设备中的光罩传输模组制造能力，
这次艾司摩尔计画案包含晶圆传输模组，盼能借此导入本土供应链。
经济部表示，受惠艾司摩尔DUV光罩传输模组搬来台湾制造，成为全球唯一制造基地，带
动台厂帆宣、公准及神咏等供应链厂商成长。因此，这次审查聚焦重点，将落在如何提升
本土技术与国产自制率。
经济部“A+企业创新研发淬炼计画”补助企业投入创新研发、前瞻产业技术开发，每年预
算约新台币20亿元，计画吸引国际大厂来台研发生产；由于艾司摩尔申请案将进入第二阶
段审查，经济部预估在5月召开决审会议拍板，届时补助金额将明朗化。◇
责任编辑：玉珍