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CMP后的检测仪器AFM 白光干涉 跟？

楼主: mytaiwan (转角遇到困难)   2022-12-21 10:18:46
如题，这次是制程面试的工程师来了，他问我说CMP后的芯片我们还是要表面观察，我回
答AFM 、白光干涉，工程师点了头说 好 力学跟光学 但你漏了一项，我又无言了，版上
有人知道吗？（不是TEM 、SEM也不是SIMS…)
作者: cityhunter04 (无聊的乖小孩 )   2022-12-21 10:56:00
自己的功课自己做
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