※ 引述《mytaiwan (转角遇到困难)》之铭言:
: 如题,面试某科技厂时被问CMP和BEOL这些方向,结果人资问BEOL为什么要盖那么高(
示
: 意图)我说讯号传递,人资说能不能再清楚一点,然后我也不知道怎么掰了。回到家还
是
: 在想为什么要一直堆叠,可是谷歌的结果也是没答案,各位乡民知道吗?
: https://i.imgur.com/EGNtsRB.jpg
认真回复你的问题,不要说Ptt没有温暖
1. 以铜制程CMOS Logic制程而言,channel size从80nm>55>40>28>20>1x FinFet,
Device尺寸一直微缩,对应就是你BEOL金属 routing线就跟着约细密,
然后DUV黄光曝光有极限,当难以Routing时,就会把走线往上延伸一层,
有点类似BEOL 的Metal +Via当contact用。
BTW, 最容易理解的范例就是去找COMS制程内通用的6T SRAM layout 来看,就会看到是其
需要3层Metal来完成,因为Bit
size太细,M1只是将contact 往上拉腾出空间,M2和M3分别完成BL和WL的走线。
2.部分High voltage制程,为了避免金属走线电压差过大,所以必须让开Metal
space,当空间不足以routing时,就必须往上画。
3.部分RF元件,必须使用电感,因此会有超厚metal的使用。
4.制程需要电容,其中MOM,就是需要METAL和METAL夹的寄生电容。
总结,
一般成熟的CMOS Logic制程都会提供多种metal option给客户用,不乏有1P10M的选项,
但是越多层Metal,成本越高,cycle time越长,所以能少一层是一层