Re: [请益] 日本一直把持光阻剂市场?

楼主: tobbaco (tobbaco)   2022-12-07 12:05:12
光阻Photoresist就是照光会反应的材料,没什么困难的概念
在半导体上从低阶到高阶都会有,现在日本市占大的就高阶的光阻
大概占90%以上,都是信越 JSR TOK 富士软片跟住友占走
最高阶的EUV光阻,信越跟JSR跑在前面。
日本的有机合成经验多,且材料纯度高,做食品或味素的公司做电子
材料也可以卖很好。然后早起就进入光反应树脂的市场,累积大量开发
与合成经验当然越走越远,专利也越写越多
不过现在光阻的基础骨干结构与配方都写在Paper上,也不是什么新东西
材料现在有用MI在模拟,配方与结构迟早被摸出来。
剩下只有绕过专利惹,如果不理专利的话应该难度不会太高。
但是当然会不会只有配方这么简单,每个layer的特性都要做调整
差几奈米的pattern效能天差地远。
除了配方以外,量产与纯化标准都高到不行,杂质含量也是0后面好几个0的程度
量产制造的与纯化要达到这个要求,know how也是很多,连环境也要高等的无尘室才行。
这些也是提早进入市场所累积出来的经验,现在EUV的技术与货物出口都要经过日本政府
审查同意,连开发人员都要身家调查才给摸,拿来当贸易武器的东西真的不一样。
最后,最重要的是,要有FAB给你测,芯片制造商很难让一个没有经验与信赖性的
原料供应商测光阻,不知道品质与量产能力,还没有实绩;如现在EUV的测试因为材料
供应商没有EUV的tool,只能给有tool的客户或是实验室测,整个拉长了开发时间;如果
有新来的供应商应该没什么空间能够生存。
所以自然就只剩下这些供应商存在了。
作者: cityhunter04 (无聊的乖小孩 )   2022-12-07 13:03:00
别那么认真回废文好嘛
作者: AxerBlizzard (Axer)   2022-12-07 18:52:00
光阻的光化学虽然是照光交联,但其实其背后光化学很复杂,光一个OXE-01的光反应文献都尚未有定论,其材料背后know how不只在有机合成而已。

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