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[请益] 要用iline or gline

楼主: mytaiwan (转角遇到困难)   2022-10-21 15:55:06
求线上专业人员（目前小弟是研究生）
小弟研究背电极 光罩
目的是：在扫描电容显微术中，背电极的面积大小会影响得到的微分电容讯号
那现在 9mmx9mm的光罩投影到晶背上，要用g-line还是I-line？ （看了几份文献都没提
到）工程师就说问指导老师，指导老师说问工程师
作者: transletum64 (六十四朔月)   2022-10-21 16:55:00
用immersion 闭着眼睛曝光就好
作者: Satansblessi (chaotic warrior)   2022-10-22 20:39:00
手刻啊！ CD那么大
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