IMEC主导SSTS永续半导体联盟 预测IC价值链芯片制造对环境影响
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比利时独立研究机构IMEC主导的半导体联盟，携手半导体设备和零组件企业等推进制程朝
向3奈米、1奈米开发，并把获得的各种数据分享给半导体会员企业。IMEC与台积电（TSMC
）、ASML和英特尔等600多家企业和大学等建立了合作关系。
IMEC是全球领先的奈米电子和数位技术研究和创新中心，于10月28日表示，苹果公司（
Apple）因产品热卖，已参与由IMEC推动的一项新研究计划SSTS（永续半导体技术与系统
）。
SSTS计划旨在预测整个IC价值链中半导体芯片制造技术（能源消耗、化学品、材料、超纯
水、温室气体如NF 3）对环境的影响，以及将相关组织群聚在一起进行技术开发。为了通
过使用具体可靠的模型和详细的碳足迹分析，以减少IC制造过程中的环境负担。
东京电子表示，不仅是制程改良，在成本方面对新一代EUV通过开发新一代EUV系统，力争
在2025～2026年之前实现1奈米节点半导体的量产化。
其实，原材料领域对于半导体的制程开发来说，很关键且不可或缺。所以，IMEC展开与日
本大学及企业合作，例如：成膜技术的开发。还有，EUV的光阻剂方面，日本材料企业JSR
通过与IMEC的合资公司生产面向EUV的光阻剂，大日本印刷正携手IMEC开发用于新一代半
导体的光掩膜。
未来，企业要在半导体相关产业之中生存下去，必须加强与IMEC等其他企业和组织的合作
，不断探索未来技术的方向性。
　　
同时，半导体的绿色转型也是重点。IMEC表示，许多公司设定到2030年总体净零碳排的目
标。他们正在努力实现这一目标，但半导体制造缺乏2030年的碳排放数据。所以，IMEC发
挥作用并有能力提供这些数据，以准备支持半导体行业，有助于整个供应链都能碳足迹追
踪并减少碳排放的目标。