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台积电协力厂：全力配合“绿色制造”
2021-04-27 01:08 经济日报 / 记者钟惠玲、尹慧中、李珣瑛╱台北、新竹报导
台积电（2330）要求供应链共同推动“绿色制造”，包括台湾半导体硅晶圆龙头环球晶、
无尘室相关供应商汉唐及帆宣、极紫外光（EUV）显影机台独家供应商艾司摩尔（ASML）
等来自国内外的台积电协力厂均强调，“全力配合冲刺绿色制造”。
环球晶强调，希望经济与科技发展应与环保兼顾。除了落实减量（Reduce）、再利用（
Reuse）与回收再利用（Recycle）等“3R”之外，更注重第四个R，也就是“Redesign”
，使产品制程在设计阶段就能预先规画其具有三个R等循环效果，并持续提升污染防制的
技术能力。
环球晶强调，未来的目标是各厂节电率大于1％，温室气体排放量削减大于1％，废弃物产
出减量大于2％。
台积电认证的优良供应商多已超前部署相关绿色机台设计的开发，甚至早在设备开发初期
就合作设计完成相关目标，特别是外商设备公司。
艾司摩尔亚太区策略行销高级总监Boudewijn Sluijk接受访问也提到，随着下世代制程持
续微缩，系统必须更精准、速度更快，艾司摩尔已和客户合作着手下世代EUV微影系统（
又称High-NA EUV）开发，同时用电效能也同步优化。
汉唐总经理陈柏辰表示，无尘室的工程建设耗能并不大，汉唐会从工程设计上着手，配合
采购符合绿色标章的的产品，进行工程施做。