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林本坚 发明浸润式微影技术
2021/04/12 05:30
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台积电前研发副总经理、现任清华大学讲座教授林本坚。（记者洪友芳摄）
记者洪友芳／特稿
光学微影是半导体重要的关键技术，林本坚被称为微影技术的先驱者，当前全球半导体高
阶制程所用的浸润式微影技术，就来自他的发明；他也是中研院第一位产业界出身的院士
。
中研院首位产业界出身院士
林本坚曾任职IBM研究中心长达二十二年时间，带领团队创造出许多领先全球的技术；从
IBM退休后，他在美国自行创业近十年，二○○○年在台积电前研发副总经理蒋尚义邀请
下加入台积电；二○○二年间，他改以水为介质，研发出浸润式微影取代乾式微影，让台
积电成功引领全球半导体业技术走向，得以推进制程至今。
半导体业从四十奈米制程开始采用浸润式技术量产，设备大厂艾司摩尔（ASML）也跟着转
向，全球业界跟进；从四十五奈米到目前量产的五奈米制程都是浸润式技术，该技术已跃
为全球半导体业量产技术主流，更让台积电技术领先英特尔、三星，居全球半导体领导地
位。
林本坚获奖无数，除了多次获IBM颁发杰出发明奖、杰出贡献奖外，更当选美国国家工程
学院院士、国际电机电子工程师学会（IEEE）西泽润一奖、Cledo Brunetti奖、工研院院
士、潘文渊文教基金会研究杰出奖、IEEE会士及首位产业界的中研院院士：二○一八年底
，有“中国诺贝尔奖”之称的未来科学大奖，还颁给他高达一百万美元的数学与电脑科学
奖项，显见他在业界的重要地位。
林本坚二○一五年十一月自台积电退休，原规划轻松过日子、专心传教，没想到清大找他
去教书；他说现在好像跟当初来台湾一样，有很多喜欢的事要做，时间不够分配，除了教
课外，还接任台积电与清大的联合研发中心主任、负责主持产学大联盟，加上每周打两次
网球、每月最后一周负责教会讲道等；林本坚笑说：“退休后更忙碌。”