[请益] PVD设备溅镀材质限制 cocoplum PTT批踢踢实业坊

[请益] PVD设备溅镀材质限制

楼主: cocoplum (我爱可可) 2021-03-08 23:04:32

请问各位先进
我司有一台设备现在镀膜成分主要是镀氮化钛或是氮化碳薄膜。
设备功能有弧靶、柱靶、中高频电源供应器。
如将设备把靶材更换、气氛更换，是否可以拿来镀透明导电膜Al2O3、AZO、ITO之类的?
设备需要做什么修改吗? 设备工程师说这是不可能的??? 却回答不出原因。
是否有设备商或是有经验的相关先进，可以请益。

作者: pinkowa (pinkowa) 2021-03-09 00:04:00

1.问原厂 2.你应该是买了二手机，所以不敢问原厂。

作者: wzmildf (æˆ‘ä¸æ˜¯è˜¿èŽ‰æŽ§) 2021-03-09 00:09:00

自己的功课自己做

作者: johnyson (johnyson) 2021-03-09 00:27:00

以小弟个人见解，要更改机台run 其他制程，并不是简单更改靶材气体等材料就可以达成这么简单，以PVD来说，能量（generator)、真空度（pump）、靶材纯度（target）与气体流量控制(MFC)、副产物的清除(scrubber),外加一些细项更改，不是这么简单可以全部都考虑到的，半导体设备之所以难就是因为他的复杂度，我们一般设备人员很难有全面的资讯以及料件去改机，所以楼上的才会说找原厂，除非贵司能承受改机失败所浪费的时间与费用，如果要省费用起码也要找second source的厂商去评估吧！

作者: jim543000 (玄黄无极) 2021-03-09 01:47:00

你不会把target装上去试吗？会怕还敢买机器自己retrofit

作者: cxzdsa (cxzdsa) 2021-03-09 05:38:00

真的是该试一下看看效果，品质能接受不就可以了。

作者: Mysex (超强猛骑) 2021-03-09 07:18:00

自己的专案自己做

作者: tseng413121 (齐德隆东墙东枪) 2021-03-09 08:43:00

你肯定没念过研究所

作者: x080944924 (a hao) 2021-03-09 08:44:00

自己不会试试看？

作者: vdfoty 2021-03-09 09:14:00

大一生？

作者: avgirl (~单身纯情Big肥宅!!!~) 2021-03-09 12:04:00

484你公司老板又在异想天开惹? QQ

作者: douge (树大便是美) 2021-03-09 12:57:00

可以

作者: hyenhan (小彦) 2021-03-09 17:57:00

可以啦

作者: Ensoul (Ensoul) 2021-03-09 20:30:00

花钱请vendor retrofit啊用嘴巴问机台就自己会改好了吗

作者: Keelungman (金坷拉是新世界的神) 2021-03-09 23:10:00

DC? RF?

作者: allen8694 2021-03-09 23:35:00

是在反串？！

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[请益] PVD设备 溅镀 材质限制

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