请问 各位先进
我司有一台设备现在镀膜成分主要是镀氮化钛或是氮化碳薄膜。
设备功能有弧靶、柱靶、中高频电源供应器。
如将设备把靶材更换、气氛更换，是否可以拿来镀透明导电膜Al2O3、AZO、ITO之类的?
设备需要做什么修改吗? 设备工程师说这是不可能的??? 却回答不出原因。
是否有设备商或是有经验的相关先进，可以请益。
作者:
pinkowa (pinkowa)
2021-03-09 00:04:001.问原厂 2.你应该是买了二手机，所以不敢问原厂。
作者:
wzmildf (我ä¸æ˜¯è˜¿èŽ‰æŽ§)
2021-03-09 00:09:00自己的功课自己做
作者:
johnyson (johnyson)
2021-03-09 00:27:00以小弟个人见解，要更改机台run 其他制程，并不是简单更改靶材气体等材料就可以达成这么简单，以PVD来说，能量（generator)、真空度（pump）、靶材纯度（target）与气体流量控制(MFC)、副产物的清除(scrubber),外加一些细项更改，不是这么简单可以全部都考虑到的，半导体设备之所以难就是因为他的复杂度，我们一般设备人员很难有全面的资讯以及料件去改机，所以楼上的才会说找原厂，除非贵司能承受改机失败所浪费的时间与费用，如果要省费用起码也要找second source的厂商去评估吧！
作者: jim543000 (玄黄无极) 2021-03-09 01:47:00
你不会把target装上去试吗？会怕还敢买机器自己retrofit
作者:
cxzdsa (cxzdsa)
2021-03-09 05:38:00真的是该试一下看看效果，品质能接受不就可以了。
作者:
Mysex (超强猛骑)
2021-03-09 07:18:00自己的专案自己做
作者: vdfoty 2021-03-09 09:14:00
大一生？
作者:
avgirl (~单身纯情Big肥宅!!!~)
2021-03-09 12:04:00484你公司老板又在异想天开惹? QQ
作者:
douge (树大便是美)
2021-03-09 12:57:00可以
作者:
hyenhan (小彦)
2021-03-09 17:57:00可以啦
作者: Ensoul (Ensoul) 2021-03-09 20:30:00
花钱请vendor retrofit啊 用嘴巴问机台就自己会改好了吗
作者: allen8694 2021-03-09 23:35:00
是在反串？！