乡民提问：为什么high Vt电流比较小？
因为Id = 1/2K(W/L)(Vgs-Vt)^2
这个式子在planner mosfect才成立 怎么来的 电子学有教 请自己去翻课本
当Vt增加时 Id一定变小 (因为Vgs是输入讯号 会是定值）
光看式子你可能没“感觉”
以物理“直觉”来说 就是Vt上升代表电子或电洞比较难被吸上来形成通道
理论上整合应该是最了解制程目的的单位 但不知道为什么 很多整合其实都不知道自己在
做什么
在半导体制程 很多时候都是电性要求是首要考量 然后才是结构 最后才是解defect
电性不外乎就是Id(sat) , Vdd , f(频宽）,R(阻值）...
以Id(sat)来说 饱和电流是受到channel 的长宽比 及 Vt 影响（以传统的mos来说)(finf
et 要去查一下paper 或跑模拟）
所以W/L的比值就很重要 因为如果W/L的range 太大 代表Id就不稳
这就是为何我们要求蚀刻的CDU要卡在一个范围内
所以在做STI的时候 每一个mos都要切的像豆腐干一样
在要求蚀刻前 要先跟蚀刻讨论一下哪种hard mask 选择比比较高 然后叠什么film 对黄
光的反射率最低 蚀刻的stop layer是要停在SIN 还是 SIO
然后去除stop layer要找wet的来讨论一下 用哪种酸去泡
除了这个 还有Vt , Vt受IMP影响 所以必须去看打不同的能量时 Vt的变化 或 Id够不够
陡
所以才会要求IMP 要打多少能量 多少浓度
打完之后找炉管的来讨论一下回火的温度 以及后面制程的thermal budget 是否会造成植
入离子再次扩散
除了主动区要切的像豆干一样 之外STI 还有纵深的的考量 因为深度会直接影响是否有电
流的leakage
以及STI里面填的是SIO 还是 SIN 电性结果也会不一样
所以要找thin film的人来讨论一下 那种film的介电常数比较低
填完之后不是这样就没事 填洞一定会有孔隙问题 或是 提前封口
电性考虑完了 还有结构的问题
例如： STI bending , step height 之类 ...
然后这样只是做完前段STI loop而已....
（还不包括解defect 跟 low yield)
所以如果你不知道自己在干嘛 最简单的可以先去搞清楚电性跟制程的关系
很多整合觉得defect跟low yield是妈九的事 其实不太正确 因为defect有时是来自于flo
w不健康
讲那么多 看的懂的就看的懂 看不懂的就乖乖带货吧
作者:
realpeez (车比人凶 orz...)
2020-08-21 23:45:00做整合工程师就是复习元件物理的时候
作者: hisped (想太多会不快乐...) 2020-08-21 23:47:00
整合压力很大吧
作者:
realpeez (车比人凶 orz...)
2020-08-21 23:48:00id 公式的k用un/Cox 表示会更能连结process flow.
作者:
loveFigo (对酒当歌 人生几何让人受)
2020-08-21 23:54:00其实现在课本的公式越来越没用了，但你的基本观念完全正确。太多know how, 全靠你在业界的经验了最好就是可以Vt又低漏电又低，Junction阻值又小，Gox又不会有electron trap
作者:
cinlix (传奇)
2020-08-21 23:57:00希望像你这样的强者愈来愈多
作者: mis321 (mis321) 2020-08-22 00:06:00
现在就是越来越多不知道在干嘛的整合 跟只会推事的整合
作者:
j90206 (帮主)
2020-08-22 00:14:00推推
作者:
Unstable (就是爱吃阿~~)
2020-08-22 00:59:00电性、制成目的真的只是基础，遇过厉害的还懂数位电路设计。
作者:
zzyzx (rd.)
2020-08-22 01:22:00这不是最基本的吗...
作者:
wdv999 (呆呆)
2020-08-22 02:11:00强者推～遇到的整合都是要FA分析做完后帮忙兜完WAT跟对到inline之后整包交给他们～才会去找马久～平常都说带货很累
作者:
fp737 (Never worry)
2020-08-22 02:49:00还好推文大部分没让我失望
这是开发新制程吧 大部分顾量产解low yield就饱了
作者:
Qoo20811 (我没有暱称)
2020-08-22 03:41:00跟楼上感觉相同 这应该是TD的工作 要是PIE这些都会应该不会只做TD更正 PIE正常来说PIE看到的recipe都是稳定的了 除非是新产品下线
作者: pinkjenny (pinkjenny) 2020-08-22 04:24:00
最好是量产的型号可以等你分析这些啦...遇到LY没赶快按iEDA，或者按完没HL 很快就有人来嘴了
作者:
bhchad (知识搬运工)
2020-08-22 07:16:00同24楼
作者:
Armuu (阿ㄇㄧㄨ)
2020-08-22 07:40:00很多整合都是材料背景的
作者:
ee50 (冷淡 冷漠)
2020-08-22 09:35:00step height啦。是要多high
作者:
mathlover (mathlover)
2020-08-22 09:54:00这篇讲的蛮正确的，对电机出身的人蛮基本。但很多PID不是电机出身，你跟他们说channel、early effect、bodyeffect、hot Carrier效应...他们都不懂。
作者:
g870043 (阿草)
2020-08-22 10:00:00push
作者:
XD15041 (BompXD)
2020-08-22 10:20:00非电资完全看无
对电类蛮基本的 电子学有好好唸都会但其他科系就不知道了
作者: uno2000 (siduaco) 2020-08-22 10:27:00
量finfet的WAT ALG跟planar一样，所以基本上课本的公式还是可以应用，这是实务上的~
作者: HRyan (Ryan) 2020-08-22 10:36:00
推! 以前看过INT数学系,PE建筑系. 都有年资但听他们讲就很虚
作者:
HardyJJ (JJHardy)
2020-08-22 10:43:00电机系大学毕业就可以上工了...跨系的看不懂不是正常...电机你问他建筑他也不懂啊...
作者:
j821005 (j821005)
2020-08-22 11:04:00很多PIE跟TD也不懂这个
作者: deltarobot (翻出来比大只小只啊) 2020-08-22 11:50:00
只要会DOE跟捞common tool就好
作者:
ijk1 (ijkl)
2020-08-22 11:56:00现在PID没这么强啦，你去问FEOL, MEOL, BOEL的整合，看他们会不会电性，Lot owner就更有趣了，只会带货、解low yield听过一堆做3, 4年的owner连WAT都不会看...
作者:
Iloinen (阿蒟)
2020-08-22 12:10:00强者推...
以前我在当制程的时候，还有整合跑过来问我一张SEM image是不是有量测问题XD. 还是有年资的喔
作者: gogohc (gogohc) 2020-08-22 12:30:00
技术流
我自己是觉得现在工作真的被切得太细，变成你要干很多杂事，处理一些根本不重要的东西，久而久之进步就很有限
作者:
mathlover (mathlover)
2020-08-22 12:42:00推楼上...只能靠自己利用时间，像我会故意请假 但是还是来公司看flow不过我不是整合XD
作者:
a2322896 (Robby)
2020-08-22 13:13:00请假来公司看flow....
作者:
bbo214 (Yubo)
2020-08-22 13:34:00cool
如果是GG非电类整合 WAT不熟也不意外 因为大多时间做废事 我倒觉得二三线fab整合 以一个三年左右的工程师 会的还比较多...
作者:
mathlover (mathlover)
2020-08-22 13:45:00是蛮奴的 但上班光电话都接不完；而且上班看flow会被认为你很闲@@
作者:
iamchyun (是否执行BB2039.exe)
2020-08-22 14:18:00不是电资背景 不是更应该花时间研究基本功吗？不是电资背景的跑来当整合被电不是正常吗？
作者: kk123 (￣▽￣) 2020-08-22 19:33:00
蚀刻
作者: BalloonBa (巴伦巴) 2020-08-22 21:50:00
优质
作者:
a24606 (阿NO)
2020-08-22 22:33:00笑死 你家EH是用嘴去吃吗 食刻ZD
作者:
q169 ( )
2020-08-22 22:49:00不要我变客户还要去HILI整合查LY呀......
作者: amoskd 2020-08-22 23:34:00
新人上课就是这些啊......
作者:
douge (树大便是美)
2020-08-23 00:25:00已经很久不用implantation 了 你这是新人训练的讲义吧?
作者:
Qoo20811 (我没有暱称)
2020-08-23 03:50:00key layer还是会用imp吧 楼上说的是用PLAD去做吗?
作者: germanykahn (我是大正妹 >///<) 2020-08-23 06:29:00
推
作者: LittleHorseS (小马儿) 2020-08-23 08:45:00
优质
作者:
kurll (狂)
2020-08-24 14:07:00一堆整合就只会要妈久提供报告啊