楼主:
SNH48 (上海48)
2020-05-28 23:34:345nm工艺起飞 ASML宣布全新半导体技术：产能大涨600%
提到荷兰ASML公司，大家都知道他们是全球唯一的EUV光刻机供应商，7nm及以下的工艺生
产都要靠他们的设备。不过ASML不只是光刻机厉害，今天他们宣布了另外一个新产品——
第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，适用于5nm及更先进工艺，使得产能大涨600%。
随着制程工艺不断提升，晶圆的制造也越来越复杂，这也会导致晶圆中的错误更多，HMI
eScan1000就是一套基于HMI多光束技术的检测系统，内部也有复杂的光电子系统，能够产
生、控制多个电子束，然后根据反射回来的电子束成像来分析晶圆质量，并有高速运行的
平台以控制测试的晶圆数量，还要有计算系统处理电子束的数据。
简单来说，ASML研发的这个HMI eScan1000机器就是一台验证先进工艺生产出来的晶圆质
量的系统，工艺越先进，检测系统就越重要，它的检测精度、吞吐量决定了生产的效率。
ASML的HMI eScan1000的突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束，所以产能提升了
600%，可以大大减少晶圆质量分析所用的时间。
目前HMI eScan1000可以用于5nm及以下先进工艺的晶圆测试，已经交付给客户进行测试验
证，未来ASML还会推出光束更多的测试设备以满足客户对先进工艺的要求。
https://tech.sina.com.cn/roll/2020-05-28/doc-iircuyvi5561899.shtml
作者: games 2020-05-29 00:28:00
这个时候应该站出来说话了
作者:
Exusiai (鲜奶茶)
2020-05-29 00:33:00看来帆宣要暴涨了ASML Supply Chain
作者: zero3445 2020-05-29 00:45:00
检测涨600% 然后??
作者: lewisk 2020-05-29 00:47:00
作者:
br2658 (brian)
2020-05-29 01:23:00然后机台贵3~5倍啊
作者: kimfatt (kimfatt) 2020-05-29 02:01:00
也就打到KLA吧？ 机台可以少摆一些
作者: jake0916 (阿鸿) 2020-05-29 02:04:00
电子束量测速度跟保养时间是最大缺点
作者:
jumpout (我跳!)
2020-05-29 02:23:00汉微科QQ
作者: qwe172839 (你何不食屎) 2020-05-29 03:19:00
KLA:
作者:
louiswu (louis)
2020-05-29 04:34:00eBeam的用途跟量产还是有差啦
作者:
Alderamin (Alderamin)
2020-05-29 06:04:00绑架一起卖
作者:
moonth66 (一天工作14小时 ! 真操 .)
2020-05-29 07:20:00汉微科不是已经并到ASML了吗
作者:
motan (警察先生就是这个人)
2020-05-29 07:23:00然后让更多晶圆厂知道自己产品多垃圾
作者:
pf775 (pf775)
2020-05-29 08:59:00这家才是真正的半导体技术主导者
柯磊这块本来就输掉很久了 检测很多机台的这只是其中之一
作者:
tedfrog (好人)
2020-05-29 09:06:00eBeam机台市占率比较高的还是AMAT
作者:
aaa790311 (LukeHuang)
2020-05-29 10:19:00愿意来ASML的可以内推 站内聊
作者:
zxc0312 (11)
2020-05-29 11:43:00这家不就是台积电的老爸吗
作者: qwe172839 (你何不食屎) 2020-05-29 11:46:00
不用什么更多晶圆厂 用得到这套的也就那两家...
作者: azureroki (Roki) 2020-05-29 12:13:00
楼楼上错囉 台积是这家的老爸
高精度留给GG买 其他落后有两个世代的买去只会扫出一堆false
作者:
tsairay (火の红宝石)
2020-05-29 16:43:00GG之前就入股ASML啦
作者:
gj942l41l4 (米食主義者)
2020-05-29 19:27:00良率100%做啥检测
作者: f798210 (roorter) 2020-05-29 20:13:00
amat ebeam team表示：终于可以少顾一些了
作者: DimlyLit (阴暗) 2020-05-30 03:56:00
KLA： Q_Q
作者:
bobjohns (bobjohns)
2020-05-30 07:56:00gg比较操 还是asml比较操
作者: coodblood (阿呆) 2020-05-31 07:07:00
东京X力的track比较操
作者:
Azraelz (多吃一点才会胖!)
2020-05-31 11:33:00所以机台数量未来只剩1/6
作者: seanidiot (idiot) 2020-05-31 19:30:00
可是这个产出本来就很弱啊，没增加一个数量级敢说嘴？