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台积电推AI冰水系统节能 晶圆良率也靠它
2020-03-06 08:48 经济日报 / 记者张家玮／台北报导
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图为新竹科学园区内的台积电十二厂。 报系资料照
台积电在晶圆代工领域创新研发能力全球第一，节能创新能力也是一把罩，
日前宣布将人工智能导入冰水系统达到业界第一节能效果，让外界摸不著头绪，
这是什么？AI怎么跟冰水系统扯上关系？对晶圆制程有什么帮助？
台积电长期以来重视节能环保众所皆知，
但将人工智能与厂务系统相结合倒是头一次听到，台积电解释在晶圆生产制程过程中，
需仰赖冰水主机系统进行冷却，以稳定机台运作、提升良率，
人工智能冰水节能系统能将温度控制在正负2℃，大大提升生产效能。
这看似不起眼的小动作，却是攸关晶圆生产良率品质幕后功臣，
也是台积电为何能击败世界级竞争对手重要关键之一。
发想正负2℃程式原创者庄哲嘉表示，在台积电或其他半导体厂区，
对于冰水系统温度的稳定要求度是非常高的，冰水系统一旦变温，
无尘室也会相对受影响，所以过去没有一个晶圆厂尝试去做变温。
所以在2014年首先依外气的变化，来作手动调整冰水温度，
但当下要做变温其实要非常小心，所以一开始是每天0.1、0.1℃慢慢的调。
于是他与团队成员，
包括资讯技术执行人员陈佳瑜、人工智能程式开发者蔡昆宪、
专案推行者周家禄一起创意发想，在2017年先以目前运转的资料大数据去分析，
推导出冰水系统最佳化的节能控制程式，
\2018年运用人工智能、机器学习的方式，将理论与实际的差距最小化，
然后节能效益自然变的最大化。
庄哲嘉开心骄傲说，这是业界首创的一个冰水系统自动控温的最佳化节能程式。
开发出这套系统可以得到很大节能效益，也乐于分享到业界，
大家共同把这套系统引进，共同达到节能成效，为的就是将绿色创新的理念发扬光大。
根据台积电企业社会责任报告书资料显示，
2017年台积电成功开发业界第一个冰水系统最佳化节能控制程式，
2019年再次领先业界首创人工智能冰水系统节能手法，
截至2020年1月，已导入12座12吋晶圆厂，每年减省1.8亿度用电量，
相当于5.13万户家庭一年用电量，9.5万吨排碳量，约当950万棵树一年的碳吸收量。