楼主:
newper (别当Google不存在)
2019-12-02 20:02:28因为离开晶圆厂有点久了
而且以前也不是黄光的
请教的问题可能很瞎
请多包涵
想请问7nm跟14nm用的光阻会不同吗?
我以前的想法是跟机台比较有关
精度差异大的的机台可能搭配的光阻不同
或是我也是对的，因为7nm是跳了一个难度gap
只能适用全新技术的photo机台
理所当然光阻也不同?
作者:
Cramael (( ′▽`)-o█)
2019-12-02 20:27:00想知道这的通常是对岸人士，不过黄光这么多道，同node就有不同光阻了，你还是直接问用每道用哪种光阻比较快
作者:
a810086 (乂佛手乂)
2019-12-02 20:36:00光阻有很多种，从前段到封装各个制程都有不一样的，光是封装就有好几种线路越细要求分辨率肯定更高，其他请专业的前辈回答
作者:
hoyo992 (hoyo992)
2019-12-02 20:40:00你真的人认为在这能问到答案吗
作者:
Cramael (( ′▽`)-o█)
2019-12-02 20:41:00以前是小整合的认知，光源、分辨率、要档蚀刻的量、正负光阻都会用不同光阻，这开发的时后都会评估
底片有分感光速度，7nm跟14nm制程光阻就算成分种类一样，配比也会有差异
作者:
b777300 (su35s)
2019-12-02 20:51:00当然有差异，跟车零件的精细度是一样的，只是一个是车刀硬度与精细度，一个是分辨率与照射时间
不同制程要求的解析不同，感光成分一定也会有所调整，即便可能可以用，材料商肯定会跟你讲成分不一样，要加价卖你，除非制程本身很强，可以自己去抓参数
作者:
onlydo (onlydo)
2019-12-02 21:36:00EUV光阻跟一般光阻不一样
作者:
maikxz (超级痛痛人)
2019-12-02 22:17:00直觉上不同光源会主要影响选用的成分，不同波长影响吸收
作者:
a810086 (乂佛手乂)
2019-12-02 22:33:00其实我更想问的是制程极限会不会不是发生在机台而是因为光阻做不到，导致后续3nm1nm碰壁
作者: qwe172839 (你何不食屎) 2019-12-02 23:02:00
全台湾搞不好还没几个人摸过EUV 怎么可能问得到
作者:
CIIIO (郭+)
2019-12-02 23:05:00不同波长的光所需要的光酸不一样
问这干嘛? 要不要 dosage focus 一起讲?
作者:
s869225 (只想自然醒)
2019-12-02 23:44:00问这问题真的很瞎
作者:
switch (pura vita!)
2019-12-02 23:49:00非EUV的7nm 跟 14nm光源都是193 immersion 差在多重曝光，光阻应该一样或差不多，EUV 7nm 光源波长差那么多，光阻当然不一样。
作者:
si5111 (C大)
2019-12-02 23:56:00PIP 谁要跟你讲
作者:
KaYan (六合童子吃屎)
2019-12-03 00:42:00PIP
作者:
ANava (只发优文)
2019-12-03 00:43:00学生作业自己做啦
作者:
gj942l41l4 (米食主義者)
2019-12-03 01:18:00应该是12楼讲得那样会因为感光速度有成份微调我硕班做25um和100um用不同PR耶，不过是厚度不是线宽
看你可怜 光阻正负会影响最小线宽 黏稠度也会剩下自己做功课
作者:
autoppp (☆㊣↖☯☁☁☯↘㊣☆)
2019-12-03 05:46:00其实一样没问题
作者: ARPG (圣剑) 2019-12-03 07:15:00
你每天站在GG大门口，开一看就知道了
作者:
motan (警察先生就是这个人)
2019-12-03 09:08:00奈米越小脸越黄，选我正解
PIP...而且同平台不同设备也可能有不同光阻搭配当然你要知道rough的答案就是不同
作者: snoopy790428 (snoopy) 2019-12-03 09:49:00
日光灯会越来越黄
作者:
abyssa1 (abyssa1)
2019-12-03 10:51:00应该可以用一样光阻的去做 只是良率效能会很差 所以肯定会微调或大改配方 两个制程客户能接受的价格也不同 最适合的配方肯定不会一样
作者:
bnd0327 (阿噗噗)
2019-12-03 11:38:00不同 layer 光阻就分好多种了，你问有没有一样的比较快
作者:
YTVW (YTVW)
2019-12-03 11:39:00double patterning
作者:
iFann (好饿饿饿.....)
2019-12-03 11:42:00光阻..问光阻商就好啦...光阻制程定下来后夭寿难换的
作者:
faniour (å®…å®…)
2019-12-03 13:31:00线宽、厚度、正负型、光源、机台、涂布都有影响光阻商愿意调整多少，交期多急....连带影响要大改还是尽可能调整成分比例去解决
作者: sky020488999 2019-12-03 15:18:00
当然有差 不然干嘛花好几十亿买泡水机
作者:
catch27 (爆爆)
2019-12-03 18:38:00PIP