: 她强调，会要求供应商赔偿，否则将提告索赔，但不透露供应商公司名称与化学品名；
供
: 应链传出确定是美商，另传是供应光阻液或研磨液。
: 备注 : DOW ?
小弟不专业的分析一下
黄光也就两种原物料，光阻跟显影液
如果是光阻过期，这个不太可能验不出来，因为在COA上有一栏是验CD的
光阻过期或氧化会导致CD异常
再怎么样in line也会看到CD ooc或 oos
另一个可能是显不干净，但这种显影defect说KLA验不出来 就很奇怪了
sp机台都号称可以验到2奈米的pa
而且4大制程里面就黄光的in line inspection tool最多
如果是CMP slurry的过期，不负责的推测可能会有sio2粒径不一致导致晶圆刮伤
这个说KLA扫不到，也很奇怪
原物料出包一般都是全面性的，不太可能跑个几万片才发现
除非。。。事情不单纯
以上是不专业之不负责推论
有没有巷子内的要出来爆挂一下???
作者: tabrisPTT 2019-01-30 07:58:00
内部问题一定更大，最好是上机前测试测不出来
作者:
yai5217 (yai)
2019-01-30 08:10:00换供应商没先试run产品吗 怎么可能
作者: EeePC901 (易学、易玩、易携带) 2019-01-30 08:13:00
李组长 眉头一皱0.0
作者: snoopy790428 (snoopy) 2019-01-30 08:18:00
蚀刻几万片也都没状况 KLA也没验到什么真不科学
作者: p20162 (好大一只鸡) 2019-01-30 08:46:00
我也蛮好奇的 这么贵的东西光是能做到后面才发现就很夸张了 还能做这么多片
作者: tabrisPTT 2019-01-30 08:58:00
说白了就是螺丝松了
作者: poba8506 (kimi_poba) 2019-01-30 09:56:00
话说KLA是不是又要推新机了，每次都来这招