: 她强调，会要求供应商赔偿，否则将提告索赔，但不透露供应商公司名称与化学品名；
供
: 应链传出确定是美商，另传是供应光阻液或研磨液。
: 备注 : DOW ?
小弟不专业的分析一下
黄光也就两种原物料，光阻跟显影液
如果是光阻过期，这个不太可能验不出来，因为在COA上有一栏是验CD的
光阻过期或氧化会导致CD异常
再怎么样in line也会看到CD ooc或 oos
另一个可能是显不干净，但这种显影defect说KLA验不出来 就很奇怪了
sp机台都号称可以验到2奈米的pa
而且4大制程里面就黄光的in line inspection tool最多
如果是CMP slurry的过期，不负责的推测可能会有sio2粒径不一致导致晶圆刮伤
这个说KLA扫不到，也很奇怪
原物料出包一般都是全面性的，不太可能跑个几万片才发现
除非。。。事情不单纯
以上是不专业之不负责推论
有没有巷子内的要出来爆挂一下???